マイクロ構造体アレイ、及びその作製方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：加藤一男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-308687
公開番号（公開出願番号）：特開2002-116304
出願日： 2000年10月10日
公開日（公表日）： 2002年04月19日
要約：

【要約】【課題】マイクロ構造体の高さを比較的大きくでき、隣接するレンズなどのマイクロ構造体間の未使用領域を容易に無くし得るマイクロレンズアレイ用金型などであるマイクロ構造体アレイ、及びその作製方法である。【解決手段】マイクロ構造体アレイは、基板2上に所望のマイクロ構造体アレイの配列に応じて離散的に配された複数の曲面突起3とそれらの上に設けられたほぼ均一な膜厚の連続膜4を有する。曲面突起3と基板2との接触角θが90度より大きい。

請求項（抜粋）：

基板上に所望のマイクロ構造体アレイの配列に応じて離散的に配された複数の曲面突起とそれらの上に設けられたほぼ均一な膜厚の連続膜を有するマイクロ構造体アレイであって、曲面突起と基板との接触角(曲面突起と基板が接する個所での曲面突起に対する接面と基板面とが成す角度であって曲面突起側の角度)が90度より大きいことを特徴とするマイクロ構造体アレイ。

IPC (10件)：

G02B 3/00 , B29C 33/38 , B81B 1/00 , B81C 1/00 , G02F 1/1333 500 , G02F 1/1335 , G02F 1/1335 500 , H01L 27/14 , B29K101:10 , B29L 11:00

FI (10件)：

G02B 3/00 A , B29C 33/38 , B81B 1/00 , B81C 1/00 , G02F 1/1333 500 , G02F 1/1335 , G02F 1/1335 500 , B29K101:10 , B29L 11:00 , H01L 27/14 D

Fターム (36件)：

2H090JB02 , 2H090JB04 , 2H090JC03 , 2H090LA12 , 2H091FA29Z , 2H091FB03 , 2H091FC02 , 2H091FC06 , 2H091FC22 , 2H091FC26 , 2H091FD12 , 2H091LA16 , 2H091MA07 , 4F202AA44 , 4F202AD03 , 4F202AD24 , 4F202AD29 , 4F202AD33 , 4F202AH73 , 4F202AJ03 , 4F202AJ11 , 4F202CA03 , 4F202CB01 , 4F202CB11 , 4F202CB29 , 4F202CD07 , 4F202CD08 , 4F202CD23 , 4F202CK13 , 4M118AA10 , 4M118AB10 , 4M118BA10 , 4M118EA20 , 4M118GD02 , 4M118GD04 , 4M118GD07

引用特許：

審査官引用 (8件)

微小光学素子の端面レンズおよび微小光学素子の端面レンズ形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-110882 出願人：株式会社フジクラ
固体撮像装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-200487 出願人：ソニー株式会社
特開平4-199874

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