シート材料の検査装置

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：柳田征史 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-195675
公開番号（公開出願番号）：特開2001-041905
出願日： 2000年06月29日
公開日（公表日）： 2001年02月16日
要約：

【要約】【課題】検査時にガラスシートをその表面に物理的に接触させることなく支持し、ガラスシートの振動を減衰させ、且つガラスシートの高速移動を可能にする。【解決手段】垂直線に対し傾斜しているY軸線に平行な平面に配置された傾斜した空気テーブル12と、Y軸線に沿い且つ空気テーブル12に平行にガラスシート14を移動させるとともに、このシート14をその下縁に沿って物理的に支持する手段と、シート14の表面部との物理的接触を避け得るように、シート材料14を空気テーブル12に平行に且つ空気テーブル12から所望の距離離して支持する空気供給手段と、走査手段と、シート14の少なくとも一方の面を横切るX軸線に沿って走査手段を移動させる手段とを備える。

請求項（抜粋）：

垂直線に対し傾斜している第1軸線に平行な平面に配置された傾斜した空気テーブルと、前記第1軸線に沿い且つ前記空気テーブルに平行に前記シート材料を移動させるとともに、前記シート材料を単独にその下縁に沿って物理的に支持する手段と、前記シート材料の表面部との物理的接触を避け得るように、該シート材料を、前記空気テーブルに平行に且つ前記空気テーブルから所望の距離離して支持する空気供給手段と、走査手段と、前記シート材料の少なくとも一方の面を横切るる第2軸線に沿って前記走査手段を移動させる手段と、を包含することを特徴とするシート材料の検査装置。

引用特許：

出願人引用 (8件)

光透過性板材の欠陥検査装置および欠陥検査方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-320173 出願人：松下電器産業株式会社
基板検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-268390 出願人：オリンパス光学工業株式会社
特開昭64-051339

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審査官引用 (9件)

光透過性板材の欠陥検査装置および欠陥検査方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-320173 出願人：松下電器産業株式会社
基板検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-268390 出願人：オリンパス光学工業株式会社
特開昭64-051339

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