特許
J-GLOBAL ID：200903035337210213

窒化アルミニウム積層基板

発明者：
福山 博之

福山 博之 について

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楠 信哉

楠 信哉 について

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箱守 明

箱守 明 について

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高田 和哉

高田 和哉 について


出願人/特許権者：
株式会社トクヤマ

株式会社トクヤマ について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-252501
公開番号（公開出願番号）：特開2006-069814
出願日： 2004年08月31日
公開日（公表日）： 2006年03月16日
要約：
【課題】 窒化アルミニウム(AlN)膜を有する窒化アルミニウム積層基板を提供する。 【解決手段】 サファイア等の単結晶α-アルミナ基板を、窒素、カーボンおよび一酸化炭素の存在下に加熱、窒化処理して結晶性窒化アルミニウム膜を同基板上に積層するとともに、同一工程で同時に該α-アルミナ基板と結晶性窒化アルミニウム膜層との界面に気孔を不規則に点在せしめることを特徴とする結晶性窒化アルミニウム積層基板の製法と当該積層基板。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
単結晶α-アルミナ基板上に窒化アルミニウム膜が積層されてなり、当該α-アルミナ基板と窒化アルミニウム膜層との界面に気孔が点在してなることを特徴とする窒化アルミニウム積層基板。
IPC (2件)：
C30B 29/38 ,  C30B 1/02
FI (2件)：
C30B29/38 C ,  C30B1/02
Fターム (8件)：
4G077AA03 ,  4G077BE13 ,  4G077CA01 ,  4G077CA07 ,  4G077ED06 ,  4G077HA12 ,  4G077JA03 ,  4G077JB02
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (3件)

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