特許
J-GLOBAL ID：200903035402016942

静電チャック装置

発明者：
佐々木 康晴

佐々木 康晴 について

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上田 雄大

上田 雄大 について

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中川 雄介

中川 雄介 について

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長山 将之

長山 将之 について

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岡城 武敏

岡城 武敏 について

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小坂井 守

小坂井 守 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (7件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  渡邊 隆 ,  青山 正和 ,  鈴木 三義 ,  西 和哉 ,  村山 靖彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-022381
公開番号（公開出願番号）：特開2007-207842
出願日： 2006年01月31日
公開日（公表日）： 2007年08月16日
要約：
【課題】板状試料の温度を制御する際の温度範囲を拡大することができ、静電チャック装置と板状試料との間の熱伝導特性の経時的変動をより小さくすることができる静電チャック装置を提供する。【解決手段】本発明の静電チャック装置は、板状試料Wを静電吸着する基体の誘電体板21の上面21aを静電吸着面とし、この上面21aに複数の突起部31を設け、これら複数の突起部31のうち一部または全部の突起部31の頂面31aに1つ以上の微小突起部32を設け、これら微小突起部32の頂面32aにおける板状試料Wを載置し該板状試料Wと接触する領域を載置面とするとともに、この静電吸着面における載置面の総面積を、上面21aの面積の0.01%以上かつ2%以下としたことを特徴とする。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
板状試料を静電吸着するための内部電極を内蔵した基体の一主面に静電吸着面を形成し、この静電吸着面に複数の突起部を設け、これら複数の突起部のうちの一部または全部の突起部の頂面に1つ以上の微小突起部を設け、 これら微小突起部の頂面における前記板状試料を載置し前記板状試料と接触する領域を載置面とするとともに、前記静電吸着面における前記載置面の総面積を、前記静電吸着面の面積の0.01%以上かつ2%以下としたことを特徴とする静電チャック装置。
IPC (4件)：
H01L 21/683 ,  H02N 13/00 ,  C23C 14/50 ,  C23C 16/458
FI (4件)：
H01L21/68 R ,  H02N13/00 D ,  C23C14/50 A ,  C23C16/458
Fターム (32件)：
4K029AA02 ,  4K029AA06 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029JA01 ,  4K029JA05 ,  4K029JA06 ,  4K030CA02 ,  4K030CA04 ,  4K030CA06 ,  4K030CA12 ,  4K030GA02 ,  4K030LA11 ,  4K030LA15 ,  4K030LA18 ,  5F004BB22 ,  5F004BB29 ,  5F004BD04 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA08 ,  5F031HA16 ,  5F031HA17 ,  5F031MA28 ,  5F031MA29 ,  5F031MA32 ,  5F031PA26 ,  5F045AA08 ,  5F045AA19 ,  5F045EM05
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (6件)
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