特許
J-GLOBAL ID：200903035540883282

基板処理装置および基板処理装置のための機能ブロック組合せシステム

発明者：
柴田 修治

柴田 修治 について

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山田 芳久

山田 芳久 について

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志賀 正佳

志賀 正佳 について


出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社

大日本スクリーン製造株式会社 について


代理人 (3件)： 吉田 茂明 ,  吉竹 英俊 ,  有田 貴弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-329417
公開番号（公開出願番号）：特開2005-101029
出願日： 2003年09月22日
公開日（公表日）： 2005年04月14日
要約：
【課題】 基板の自動検査装置を接続可能な基板処理装置において、レイアウトの自由度を向上させ、スループットの向上およびコスト削減を図る。【解決手段】 基板処理装置は、インデクサブロック1、バークブロック2、レジスト塗布ブロック3、現像処理ブロック4、インターフェイスブロック5、検査ブロックIBに各処理ブロックに機械的に区分される。各処理ブロックは、搬送ロボット(TR1〜TR5)および基板載置部(PASS1〜PASS8)を基板搬送手段としてそれぞれ有している。基板載置部PASS1〜PASS8は全て同じ構造であり、各処理ブロックの搬送ロボットは、隣に接続されたブロックの基板載置部にアクセス可能である。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
第1の基板処理ブロックと、 第2の基板処理ブロックと、 基板検査ブロックとを備え、 前記第1と第2の基板処理ブロックの少なくとも一方と、前記基板検査ブロックとにそれぞれ基板搬送手段が設けられ、 相互に着脱可能であるとともに、相互に突き合わせ接続したときに相補的に連結されることによって所定の基板受渡し境界構造が形成される第1と第2の端部構造が規定されており、 前記第1の基板処理ブロックの特定の端部が前記第1の端部構造を有し、 前記第2の基板処理ブロックの特定の端部が前記第2の端部構造を有するとともに、 前記基板検査ブロックが、前記第1の端部構造を有する第1端部と、前記第2の端部構造を有する第2端部とを有する ことを特徴とする基板処理装置。
IPC (2件)：
H01L21/027 ,  H01L21/68
FI (2件)：
H01L21/30 562 ,  H01L21/68 A
Fターム (27件)：
4D075AC92 ,  4D075AC97 ,  4D075CA47 ,  4D075DA06 ,  4D075DB13 ,  4D075DC21 ,  4D075DC24 ,  4D075EA07 ,  4D075EA45 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA02 ,  5F031MA03 ,  5F031MA09 ,  5F031PA05 ,  5F031PA06 ,  5F046CD01 ,  5F046CD05 ,  5F046CD06 ,  5F046JA22 ,  5F046LA18 ,  5F046LB09
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 基板処理装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-211532   出願人：東京エレクトロン株式会社
審査官引用 (5件)
  • 処理システム
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-037271   出願人：東京エレクトロン株式会社
  • 塗布、現像装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-217722   出願人：東京エレクトロン株式会社
  • 特開昭63-012126
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