特許
J-GLOBAL ID：200903035561611924

圧電素子およびその製造方法

発明者：
秋山 守人

秋山 守人 について

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上野 直広

上野 直広 について

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立山 博

立山 博 について

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野中 一洋

野中 一洋 について


出願人/特許権者：
独立行政法人産業技術総合研究所

独立行政法人産業技術総合研究所 について


代理人 (1件)： 原 謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-013939
公開番号（公開出願番号）：特開2004-265900
出願日： 2003年01月22日
公開日（公表日）： 2004年09月24日
要約：
【課題】高い双極子配向度を有するニオブ酸リチウム、ニオブ酸タンタル、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、ジルコン酸鉛およびチタン酸ジルコン酸鉛のいずれか1つ以上からなる薄膜を用いた高性能の圧電素子を提供する。【解決手段】石英ガラス基板またはステンレス基板上に、下部電極を形成する。下部電極上に、スパッタリング法を用いて、双極子配向度が55%以上となるようにニオブ酸リチウム、ニオブ酸タンタル、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、ジルコン酸鉛およびチタン酸ジルコン酸鉛のいずれか1つ以上を製膜することにより、薄膜状の圧電体薄膜を形成する。そして、圧電体薄膜上に上部電極を形成する。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
基板上に、第1電極層、圧電層、および第2電極層がこの順に積層された圧電素子であって、 上記圧電層は、ニオブ酸リチウム、ニオブ酸タンタル、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、ジルコン酸鉛およびチタン酸ジルコン酸鉛のいずれか1つ以上からなり、その双極子配向度が55%以上であることを特徴とする圧電素子。
IPC (5件)：
H01L41/09 ,  H01L41/18 ,  H01L41/187 ,  H01L41/22 ,  H03H9/17
FI (8件)：
H01L41/08 C ,  H03H9/17 Z ,  H01L41/08 L ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/18 101C ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/22 Z
Fターム (14件)：
2G064AB09 ,  2G064BA08 ,  2G064BD18 ,  5J108AA07 ,  5J108AA09 ,  5J108BB08 ,  5J108FF03 ,  5J108FF05 ,  5J108GG15 ,  5J108GG18 ,  5J108KK02 ,  5J108KK07 ,  5J108MM11 ,  5J108MM14
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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