ニードルカードの調整装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：矢野敏雄 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-334568
公開番号（公開出願番号）：特開2001-189354
出願日： 2000年11月01日
公開日（公表日）： 2001年07月10日
要約：

【要約】【課題】ニードルカード1が検査ヘッド5に対するコンタクトインタフェースとして用いられる基板3に接続されている、ニードルカードのニードルセット6をコンタクト形成すべきウェハ8に関連して平坦化するためのニードルカード調整装置を一層簡単に調整できるようにする。【解決手段】ニードルカードは別個の、ダイナミックに動作する調整ユニット4;11を介して基板3に接続されている。

請求項（抜粋）：

ニードルカード(1)のニードルセット(6)を、コンタクト形成すべきウェハ(8)に関連して平坦化するためのニードルカードの調整装置であって、ニードルカード(1)は検査ヘッド(5)に対するコンタクトインタフェースとして用いられる基板(3)に接続されている形式のものにおいて、ニードルカード(1)は別個の、ダイナミックに動作する調整ユニット(4;11)を介して基板(3)に接続されていることを特徴とするニードルカードの調整装置。

IPC (5件)：

H01L 21/66 , G01R 1/06 , G01R 1/073 , G01R 31/28 , H01L 41/09

FI (5件)：

H01L 21/66 B , G01R 1/06 E , G01R 1/073 E , G01R 31/28 K , H01L 41/08 U

引用特許：

審査官引用 (3件)

プローブ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-215870 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン山梨株式会社
接続装置および検査システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-049912 出願人：株式会社日立製作所
プローブヘッドの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-360286 出願人：株式会社日立製作所

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