マイクロ化学チップおよびその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西教圭一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-114820
公開番号（公開出願番号）：特開2004-314015
出願日： 2003年04月18日
公開日（公表日）： 2004年11月11日
要約：

【課題】生産性が高く、安価で、かつ耐薬品性に優れ、種々の条件で使用することのできるマイクロ化学チップおよびその製造方法を提供する。【解決手段】セラミックグリーンシート32の表面に、予め定める形状の型を押圧して溝部36を形成した後、溝部36を覆うように別のセラミックグリーンシート31を積層し、積層したセラミックグリーンシート31,32を所定の温度で焼結させることによって、被処理流体を流通させる流路が形成されたセラミック材料から成る基体を形成し、マイクロ化学チップを得る。このマイクロ化学チップは、生産性が高く、また製造原価も低いので、安価である。また、耐薬品性に優れ、種々の条件で使用することができる。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

被処理流体を流通させる流路が形成された基体を有し、前記流路を流通する被処理流体に予め定める処理を施すマイクロ化学チップであって、前記基体は、セラミック材料から成ることを特徴とするマイクロ化学チップ。

IPC (5件)：

B01J19/00 , B28B11/00 , B81B1/00 , B81C5/00 , G01N37/00

FI (5件)：

B01J19/00 321 , B81B1/00 , B81C5/00 , G01N37/00 101 , B28B11/00 Z

Fターム (18件)：

4G055AA08 , 4G055AC01 , 4G055AC09 , 4G055BA43 , 4G055BA83 , 4G075AA02 , 4G075AA39 , 4G075AA65 , 4G075BA10 , 4G075CA02 , 4G075DA02 , 4G075EA06 , 4G075EB21 , 4G075EE12 , 4G075FA01 , 4G075FA05 , 4G075FA12 , 4G075FB04

引用特許：

審査官引用 (6件)

集積マイクロセラミック化学プラント
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-094957 出願人：イーストマンコダックカンパニー
総合化学処理装置及びその準備のためのプロセス
公報種別：公表公報出願番号：特願平6-521214 出願人：イー・アイ・デユポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー
マイクロチップおよび該マイクロチップを用いる検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-182215 出願人：ミノルタ株式会社

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