特許

J-GLOBAL ID：200903035816039146

石英ガラスるつぼおよび該るつぼを製造する方法

発明者： コルス.ガーブリエル ,  アルント.マルティーン ,  ラオダン.ヒルマール ,  シュヴァルツバオアァ.マンフレート
出願人/特許権者： ヘラオイス.クヴァールツグラース.ゲゼルシャフト.ミット.ベシュレンクテル.ハフツング.ウント.コンパニー.コマンディットゲゼルシャフト ,  ズィルトロニック.アクツィエンゲゼルシャフト
代理人 (2件)： 押田 良隆 ,  押田 良輝
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-586400
公開番号（公開出願番号）：特表2005-523229
出願日： 2003年04月03日
公開日（公表日）： 2005年08月04日
要約：

【課題】 結晶引上げのための既知の石英ガラスるつぼは、外層(その外部領域に、結晶引上げにおける特定の使用法に従って石英ガラスるつぼが加熱されるとき、クリストバライトを形成して石英ガラスの結晶化をもたらす結晶化プロモーターを備えている)を持つるつぼ側壁から成る。【解決手段】 本発明の目的は、長い使用期間を持つ石英ガラスるつぼを提供することで、このため、結晶化プロモーターは、シリコンに加えて、石英ガラス中で網状化剤として作用する第一成分、およびアルカリ金属を含まず、かつ石英ガラス中で分離点形成剤として作用する第二成分を含む。上記の成分は、0.2mmより大きな層の厚さを持つ外層(6)のドーピング領域(8)に含まれ、閉じ込められている。

請求項（抜粋）：

不透明石英ガラスの外層および内層からなるるつぼ側壁をもつ結晶引上げのための石英ガラスるつぼ(ここで、該外層は内部領域と外部領域をもち、後者は、石英ガラスるつぼが結晶引上げにおける意図された使用の間に加熱されるとき、クリストバライトの形成により石英ガラスの結晶化を引き起こす結晶化プロモーターを備えている)において、結晶化プロモーターが、(シリコンに加えて)石英ガラス中で網状構造形成子として、および/または石英ガラス中の網状構造修飾子として作用する第一成分、ならびに石英ガラス中で切断点形成子として作用するアルカリ金属フリーの第二成分を含み、かつ外層(6)が、その中に閉じ込められている前記成分を含む0.2mm以上の層厚さをもつドーピング領域(8)から成ることを特徴とする結晶引上げのための石英ガラスるつぼ。

IPC (2件)：

C30B15/10 ,  C03B20/00

FI (3件)：

C30B15/10 ,  C03B20/00 F ,  C03B20/00 H

Fターム (8件)：

4G014AH00 ,  4G077AA02 ,  4G077BA04 ,  4G077CF10 ,  4G077EG02 ,  4G077HA12 ,  4G077PD01 ,  4G077PD05

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 欧州特許出願第748885号明細書
  

審査官引用 (3件)

• 向上した無転位性能のための表面処理ルツボ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-154336   出願人：エムイーエムシー・エレクトロニック・マテリアルズ・インコーポレイテッド, ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ
• 単結晶の無転位収量の改善方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-154337   出願人：エムイーエムシー・エレクトロニック・マテリアルズ・インコーポレイテッド, ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ
• 石英ガラスルツボおよびその製造方法ならびにこれを用いたシリコン単結晶の引上げ方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-048792   出願人：東芝セラミックス株式会社