透明導電フィルム及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：高橋祥泰 , 岩倉民芳 , 高橋祥起
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-354415
公開番号（公開出願番号）：特開2006-164745
出願日： 2004年12月07日
公開日（公表日）： 2006年06月22日
要約：

【課題】表面抵抗が小さく、透明度が高く、かつ反りの生じ難い透明導電フィルム及びその製造方法を提供すること。【解決手段】透明な基材フィルム2と、基材フィルム2の表面にスパッタリングにより形成したITOからなる透明導電膜3とを有する透明導電フィルム1。透明導電膜3は、3回以上に分けて断続的にスパッタリングすることにより、3層以上のスパッタ層(第1スパッタ層31、第2スパッタ層32、第3スパッタ層33)の積層体として形成されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

透明な基材フィルムと、該基材フィルムの表面にスパッタリングにより形成したITOからなる透明導電膜とを有する透明導電フィルムであって、上記透明導電膜は、3回以上に分けて断続的にスパッタリングすることにより、3層以上のスパッタ層の積層体として形成されていることを特徴とする透明導電フィルム。

IPC (6件)：

H01B 5/14 , B32B 9/00 , B32B 27/36 , C23C 14/08 , C23C 14/34 , H01B 13/00

FI (6件)：

H01B5/14 A , B32B9/00 A , B32B27/36 , C23C14/08 D , C23C14/34 S , H01B13/00 503B

Fターム (55件)：

4F100AA28B , 4F100AA28C , 4F100AA28D , 4F100AA33B , 4F100AA33C , 4F100AA33D , 4F100AK41E , 4F100AK42A , 4F100AT00A , 4F100BA04 , 4F100BA05 , 4F100BA07 , 4F100BA10A , 4F100BA10D , 4F100CB00E , 4F100EH66B , 4F100EH66C , 4F100EH66D , 4F100EH662 , 4F100GB41 , 4F100JA20B , 4F100JA20C , 4F100JA20D , 4F100JD08 , 4F100JG01B , 4F100JG01C , 4F100JG01D , 4F100JG04 , 4F100JK14E , 4F100JL04 , 4F100JN01 , 4F100JN01A , 4F100JN01B , 4F100JN01C , 4F100JN01D , 4F100YY00B , 4F100YY00C , 4F100YY00D , 4F100YY00E , 4K029AA11 , 4K029AA25 , 4K029BA45 , 4K029BB02 , 4K029BC03 , 4K029BC08 , 4K029BD00 , 4K029BD01 , 4K029CA05 , 5G307FA02 , 5G307FB01 , 5G307FC02 , 5G307FC05 , 5G307FC09 , 5G323BA02 , 5G323BB05

引用特許：

出願人引用 (1件)

透明導電フィルム
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-188431 出願人：ティーディーケイ株式会社

審査官引用 (6件)

透明導電膜
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-214539 出願人：凸版印刷株式会社
透明導電膜の形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-194691 出願人：凸版印刷株式会社
特開平2-276106

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