特許
J-GLOBAL ID：200903035887515968

ウェーハの搬送装置

発明者：
角野 雅仁

角野 雅仁 について


出願人/特許権者：
株式会社日立ハイテクコントロールシステムズ

株式会社日立ハイテクコントロールシステムズ について


代理人 (2件)： 小川 勝男 ,  田中 恭助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-156151
公開番号（公開出願番号）：特開2006-332460
出願日： 2005年05月27日
公開日（公表日）： 2006年12月07日
要約：
【課題】ウェーハアライメント専用装置やウェーハアライメント用のアクチュェータを使用せずに、フットプリントを最小に抑えて、低発塵でかつ、高スループットなアライメント機能を有するウェーハの搬送装置を提供する。【解決手段】ウェーハを把持するウェーハ把持部41と、前記ウェーハ把持部41を支持するアーム部40と、機台1とを有し、前記機台1は、機台座10と、前記アーム部40を固定支持し、かつ前記機台座10に対して回転自在なる旋回基軸3とを有し、前記ウェーハ把持部41は、前記ウェーハのノッチやオリフラを含む基準位置を検知する位置検知センサ5を有し、前記ウェーハが載置されるウェーハ置台11を前記旋回基軸3が回転する回転軸心上に位置するように前記機台1に設けた。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ウェーハを把持するウェーハ把持部と、前記ウェーハ把持部を支持するアーム部と、前記アーム部を回転自在に支持する機台とを有し、 前記ウェーハ把持部は、前記ウェーハのノッチやオリフラを含む基準位置を検知する位置検知センサを有し、 前記ウェーハが載置されるウェーハ置台を前記アーム部が回転する回転軸心上に設けたことを特徴とするウェーハの搬送装置。
IPC (5件)：
H01L 21/677 ,  H01L 21/68 ,  B25J 9/06 ,  B25J 13/08 ,  B65G 49/07
FI (6件)：
H01L21/68 S ,  H01L21/68 M ,  B25J9/06 D ,  B25J13/08 Z ,  B65G49/07 C ,  B65G49/07 F
Fターム (26件)：
3C007AS05 ,  3C007AS24 ,  3C007BS15 ,  3C007CT05 ,  3C007CV07 ,  3C007CW07 ,  3C007DS01 ,  3C007ES17 ,  3C007HT16 ,  3C007KS04 ,  3C007KX07 ,  3C007LT06 ,  5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031GA10 ,  5F031GA13 ,  5F031GA14 ,  5F031GA15 ,  5F031GA35 ,  5F031GA36 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031JA34 ,  5F031JA35 ,  5F031KA10
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (4件)
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