特許
J-GLOBAL ID：200903035986237040

フォトレジスト用二軸配向ポリエステルフィルム

発明者：
水谷 圭

水谷 圭 について

, 
室岡 博文

室岡 博文 について

, 
長谷川 欣治

長谷川 欣治 について


出願人/特許権者：
帝人株式会社

帝人株式会社 について


代理人 (1件)： 前田 純博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-037126
公開番号（公開出願番号）：特開2000-275860
出願日： 1999年02月16日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：
【要約】【課題】 透明性、滑り性および巻取り性を同時に満足するフォトレジスト用フィルムとして優れたポリエステルフィルムを提供する。【解決手段】 互いに平均粒径の異なる2種以上の不活性粒子を含むポリエステル組成物からなる厚み1.0〜30.0μmの二軸配向ポリエステルフィルムであって、該不活性粒子はそれぞれAl、Si、CaおよびMgから選ばれた少なくとも1種以上の元素を含み、該不活性粒子の少なくとも1種は1次粒子が凝集して形成される凝集粒子であり、該フィルム表面の中心線平均粗さ(SRa)および10点平均粗さ(SRz)がそれぞれ10〜80nm、700〜1500nmであり、フィルム-フィルム間のエア抜け速度が20〜120mmHg/hrであり、かつ1/2インチ幅にスリットしたフィルムロールの巻取り速度が250m/minの時の端面ずれ幅が0〜500μmであることを特徴とするフォトレジスト用二軸配向ポリエステルフィルム。
請求項（抜粋）：
互いに平均粒径の異なる2種以上の不活性粒子を含むポリエステル組成物からなる厚み1.0〜30.0μmの二軸配向ポリエステルフィルムであって、該不活性粒子はそれぞれAl、Si、CaおよびMgから選ばれた少なくとも1種以上の元素を含み、該不活性粒子の少なくとも1種は1次粒子が凝集して形成される凝集粒子であり、該フィルム表面の中心線平均粗さ(SRa)および10点平均粗さ(SRz)がそれぞれ10〜80nm、700〜1500nmであり、フィルム-フィルム間のエア抜け速度が20〜120mmHg/hrであり、かつ1/2インチ幅にスリットしたフィルムロールの巻取り速度が250m/minの時の端面ずれ幅が0〜500μmであることを特徴とするフォトレジスト用二軸配向ポリエステルフィルム。
IPC (4件)：
G03F 7/09 501 ,  C08J 5/18 CFD ,  G03F 7/032 502 ,  H05K 3/06
FI (4件)：
G03F 7/09 501 ,  C08J 5/18 CFD ,  G03F 7/032 502 ,  H05K 3/06 J
Fターム (26件)：
2H025AA00 ,  2H025AB11 ,  2H025DA19 ,  2H025DA20 ,  4F071AA43 ,  4F071AB18 ,  4F071AB26 ,  4F071AD02 ,  4F071AD06 ,  4F071AE11 ,  4F071AF53 ,  4F071AH12 ,  4F071BA01 ,  4F071BB06 ,  4F071BB08 ,  4F071BC01 ,  4F071BC16 ,  5E339CC01 ,  5E339CC10 ,  5E339CD01 ,  5E339CE11 ,  5E339CE16 ,  5E339CF16 ,  5E339CF17 ,  5E339DD02 ,  5E339FF02
引用特許：
審査官引用 (4件)
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