差動開口数方法およびデバイス

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：廣江武典 , 宇野健一
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-532899
公開番号（公開出願番号）：特表2004-510972
出願日： 2001年10月03日
公開日（公表日）： 2004年04月08日
要約：

可変照射(30)または観察(40)開口数、あるいは双方から得られる入射角測定を利用する、試料の差動開口数分析のためのデバイスおよび方法。度量衡適用が提供され、さらに詳しくはスカトロメーター、エリプソメーターおよび同様の分析方法を含み、ニ方向反射率または伝達分布関数測定を含む。該提供されたデバイスおよび方法は、可変開口数または開口(30,40)によって変化する、当るまたは散乱する角度の範囲と共に、最小の移動部品を利用する臨界的寸法の試料の分析を可能とする。

請求項（抜粋）：

光ビームを発生させるための源; それにより、可変開口数が光線の照射が試料に当たる角度の範囲を変化させるパラメーターを決定するためのデータを得つつ、開口数範囲にわたって可変な可変照射開口数構成要素; それにより、可変開口数が、試料からの散乱された光線が許容される角度の範囲を変化させるパラメーターを決定するためのデータを得つつ、開口数の範囲にわたって可変な可変観察開口数構成要素;および可変観察開口数構成要素によって許容される光を受け取り、それを特徴付けるように位置した第1の検出系; を含むことを特徴とする試料のパラメーターを決定するための装置。

IPC (5件)：

G01J4/04 , G01B11/06 , G01N21/21 , G02B21/00 , H01L21/027

FI (5件)：

G01J4/04 Z , G01B11/06 Z , G01N21/21 Z , G02B21/00 , H01L21/30 502V

Fターム (37件)：

2F065AA30 , 2F065CC31 , 2F065FF41 , 2F065GG21 , 2F065JJ26 , 2F065LL09 , 2F065LL12 , 2F065LL28 , 2F065LL30 , 2F065LL32 , 2F065LL35 , 2F065LL42 , 2F065QQ16 , 2F065QQ42 , 2G059AA02 , 2G059BB15 , 2G059BB16 , 2G059EE05 , 2G059FF01 , 2G059GG01 , 2G059GG03 , 2G059GG04 , 2G059JJ05 , 2G059JJ18 , 2G059JJ19 , 2G059KK02 , 2G059KK03 , 2G059MM01 , 2H052AC07 , 2H052AC09 , 2H052AC29 , 2H052AC33 , 2H052AC34 , 2H052AF02 , 2H052AF06 , 2H052AF07 , 2H052AF11

引用特許：

審査官引用 (9件)

レーザ顕微鏡およびパターン形状測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-080977 出願人：石川島播磨重工業株式会社
表面検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-083593 出願人：新日本製鐵株式会社
特表平6-504845

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