特許
J-GLOBAL ID：200903036053603238
短波長光の透過性に優れた石英ガラスとその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
穂上 照忠 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-158606
公開番号（公開出願番号）：特開2001-048571
出願日： 2000年05月29日
公開日（公表日）： 2001年02月20日
要約：
【要約】【課題】波長が165〜200nmの範囲の遠紫外領域での光リソグラフィーなどの、光学系やマスクの基材に適した、光の吸収の少ない石英ガラスの提供。【解決手段】重量比にて、アルカリ金属元素Li、Na、K、およびアルカリ土類金属元素Mg、Caの合計の含有量が100ppb以下、3d遷移金属元素Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、NiおよびCuの合計の含有量が100ppb以下、B、CまたはNの含有量がいずれも1ppm以下およびOH基の濃度が50ppm以下であるか、または上記に加えてハロゲン元素を100〜3000ppmおよび水素を1×1017分子/cm3以上を含有する波長165〜200nmの光の透過率のすぐれた合成石英ガラス。およびスート体を減圧処理した後透明化するか、またはハロゲン化処理後透明化して水素を含有させる上記の合成石英ガラスの製造方法。
請求項（抜粋）：
重量比にて、アルカリ金属元素Li、Na、K、およびアルカリ土類金属元素Mg、Caの合計の含有量が100ppb以下、3d遷移金属元素Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、NiおよびCuの合計の含有量が100ppb以下、B、CまたはNの含有量のいずれもが1ppm以下で、さらにOH基の濃度が50ppm以下であることを特徴とする波長165〜200nmの光の透過率が光路長1cmあたり85%以上の合成石英ガラス。
IPC (6件)：
C03C 3/06
, C03B 8/04
, C03B 20/00
, G02B 1/02
, G03F 7/20 521
, H01L 21/027
C03C 3/06
, C03B 8/04 R
, C03B 8/04 L
, C03B 20/00 F
, G02B 1/02
, G03F 7/20 521
, H01L 21/30 515 D
