特許

J-GLOBAL ID：200903036194017715

圧力式流量制御装置におけるオリフィス目詰検出方法およびその検出装置

発明者： 大見 忠弘 ,  飯田 精一 ,  加賀爪 哲 ,  廣瀬 潤 ,  宇野 富雄 ,  西野 功二 ,  池田 信一 ,  山路 道雄 ,  土肥 亮介 ,  出田 英二 ,  廣瀬 隆 ,  吉川 和博 ,  小艾 睦典
出願人/特許権者： 大見 忠弘 ,  東京エレクトロン株式会社 ,  株式会社フジキン
代理人 (1件)： 杉本 丈夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-213633
公開番号（公開出願番号）：特開2000-137528
出願日： 1999年07月28日
公開日（公表日）： 2000年05月16日
要約：

【要約】【課題】オリフィスを利用した流量制御装置において、オリフィスの目詰まりを配管を分解することなく上流側圧力の検出によって行い、流量制御装置の長寿命化と安全性を高める。【解決手段】上流側圧力P1 を下流側圧力P2 の約2倍以上に保持して下流側の流量QC をQC =KP1 (K:定数)で演算し、この演算流量QC と設定流量QS との差信号QY によりコントロール弁CVを開閉制御する流量制御装置FCSにおいて、オリフィス2に目詰まりがない条件下で高設定流量QSHから低設定流量QSLに切換えて測定された上流側圧力P1 の基準圧力減衰データY(t)を記憶したメモリ装置Mと、オリフィス2の実際条件下で高設定流量QSHから低設定流量QSLに切換えて上流側圧力P1 の圧力減衰データP(t)を測定する圧力検出器14と、圧力減衰データP(t)と基準圧力減衰データY(t)とを対比演算する中央演算処理装置CPUと、圧力減衰データP(t)が基準圧力減衰データY(t)より所定度以上開離したときに目詰まりを報知するアラーム回路46から目詰検出装置を構成する。

請求項（抜粋）：

コントロール弁(CV)とオリフィス(2)とこれらの間の上流側圧力P1 を検出する圧力検出器(14)と流量設定回路(32)からなり、上流側圧力P1 を下流側圧力P2 の約2倍以上に保持して下流側の流量QC をQC =KP1 (K:定数)で演算し、この演算流量QC と設定流量QS との差信号QY によりコントロール弁(CV)を開閉制御する流量制御装置において、設定流量QS を高設定流量QSHに保持する第1工程と、この高設定流量QSHを低設定流量QSLに切換えて保持し上流側圧力P1 を測定して圧力減衰データP(t)を得る第2工程と、同条件でオリフィスに目詰りがないときに測定された基準圧力減衰データY(t)と前記圧力減衰データP(t)とを対比する第3工程と、圧力減衰データP(t)が基準圧力減衰データY(t)より所定度以上開離したときに目詰まりを報知する第4工程からなる圧力式流量制御装置におけるオリフィス目詰検出方法。

IPC (3件)：

G05D 7/06 ,  G01F 1/42 ,  G05D 16/20

FI (3件)：

G05D 7/06 Z ,  G01F 1/42 A ,  G05D 16/20 J

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 圧力式流量制御装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-212330   出願人：大見忠弘, 株式会社フジキン
• ダクト検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-147896   出願人：ブリティッシュ・テレコミュニケーションズ・パブリック・リミテッド・カンパニー
• 流量制御系の異常検知装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-301958   出願人：横河電機株式会社
• 特開平4-118702