特許
J-GLOBAL ID:200903036237040627
ラクトン骨格を有する(メタ)アクリル酸エステル
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
後藤 幸久
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-185579
公開番号(公開出願番号):特開2003-002882
出願日: 2001年06月19日
公開日(公表日): 2003年01月08日
要約:
【要約】【課題】 ポリマー化してレジスト用樹脂等とした場合、レジスト等の性能に悪影響を及ぼさないようなラクトン骨格を有する(メタ)アクリル酸エステルを得る。【解決手段】 下記式(1)【化1】(式中、Rは水素原子又はメチル基を示し、Zはラクトン骨格を有する有機基を示す)で表される(メタ)アクリル酸エステルであって、該(メタ)アクリル酸エステル1重量部を酢酸エチル19重量部に20°Cで溶解させたとき、不純物として含まれる不溶分が0.5重量%以下であることを特徴とするラクトン骨格を有する(メタ)アクリル酸エステル。Zにおけるラクトン骨格を有する有機基には、2-オキサトリシクロ[4.2.1.04,8]ノナン-3-オン環、3-オキサトリシクロ[4.3.1.14,8]ウンデカン-2-オン環又はγ-ブチロラクトン環を有する有機基等が含まれる。
請求項(抜粋):
下記式(1)【化1】(式中、Rは水素原子又はメチル基を示し、Zはラクトン骨格を有する有機基を示す)で表される(メタ)アクリル酸エステルであって、該(メタ)アクリル酸エステル1重量部を酢酸エチル19重量部に20°Cで溶解させたとき、不純物として含まれる不溶分が0.5重量%以下であることを特徴とするラクトン骨格を有する(メタ)アクリル酸エステル。
IPC (5件):
C07D307/00
, C07D307/33
, C07D313/00
, C07B 61/00 300
, C08F 20/28
FI (5件):
C07D307/00
, C07D313/00
, C07B 61/00 300
, C08F 20/28
, C07D307/32 Q
Fターム (8件):
4C037AA02
, 4C037FA10
, 4C062JJ12
, 4H039CA66
, 4H039CL25
, 4J100AL08P
, 4J100BC53P
, 4J100JA37
引用特許:
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