透明導電性フィルムの製造方法及び透明導電性フィルム

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-165904
公開番号（公開出願番号）：特開2004-010753
出願日： 2002年06月06日
公開日（公表日）： 2004年01月15日
要約：

【課題】生産コストが低く、高い導電率で(比抵抗値の低く)、透明性、エッチング処理性に優れた透明導電性フィルム及びその製造する方法を提供する。【解決手段】対向電極間を大気圧近傍の圧力として、少なくとも放電ガスと薄膜形成性ガスを含有する混合ガスを満たし、該対向電極間に連続したサイン波の周波数100kHzを超える高周波電圧をかけ、且つ1W/cm2以上の電力密度を供給してプラズマを発生させて該混合ガスをプラズマ状態とし、該プラズマ状態の混合ガスに、基材を晒して該基材上に透明導電膜を形成させる大気圧プラズマ放電薄膜形成方法を用いて、該基材の表面温度を120°C以下として該プラズマ状態の混合ガスに晒すことを特徴とする透明導電性フィルムの製造方法。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

対向電極間を大気圧もしくはその近傍の圧力として、少なくとも放電ガスと薄膜形成性ガスを含有する混合ガスを満たし、該対向電極間に連続したサイン波の周波数100kHzを超える高周波電圧をかけ、且つ1W/cm2以上の電力密度(または出力密度)を供給してプラズマを発生させて該混合ガスをプラズマ状態とし、該プラズマ状態の混合ガスに、基材を晒して該基材上に透明導電膜を形成させる大気圧プラズマ放電薄膜形成方法を用いて、該基材の表面温度を120°C以下として該プラズマ状態の混合ガスに晒すことを特徴とする透明導電性フィルムの製造方法。

IPC (7件)：

C08G83/00 , B01J19/08 , C08J7/04 , C23C16/40 , C23C16/507 , H01B5/14 , H01B13/00

FI (8件)：

C08G83/00 , B01J19/08 H , C08J7/04 D , C08J7/04 , C23C16/40 , C23C16/507 , H01B5/14 A , H01B13/00 503B

Fターム (65件)：

4F006AA12 , 4F006AA36 , 4F006AB68 , 4F006BA07 , 4F006CA08 , 4F006DA01 , 4G075AA24 , 4G075AA30 , 4G075BA05 , 4G075BC01 , 4G075BC06 , 4G075CA02 , 4G075CA25 , 4G075CA47 , 4G075CA57 , 4G075CA63 , 4G075EC21 , 4G075ED04 , 4G075FC11 , 4J031BA19 , 4J031BB02 , 4J031BB09 , 4J031BC03 , 4J031BD25 , 4J031CA12 , 4J031CA87 , 4J031CE04 , 4J031CG33 , 4J031CG46 , 4K030AA11 , 4K030AA16 , 4K030AA17 , 4K030AA18 , 4K030BA02 , 4K030BA11 , 4K030BA15 , 4K030BA16 , 4K030BA21 , 4K030BA22 , 4K030BA42 , 4K030BA43 , 4K030BA45 , 4K030BA47 , 4K030BB03 , 4K030CA07 , 4K030CA12 , 4K030FA03 , 4K030GA04 , 4K030JA09 , 4K030JA10 , 4K030JA16 , 4K030JA18 , 4K030KA32 , 4K030KA46 , 4K030LA01 , 4K030LA17 , 4K030LA18 , 5G307FA02 , 5G307FB01 , 5G307FB02 , 5G307FC03 , 5G307FC09 , 5G307FC10 , 5G323BA04 , 5G323BB03

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平1-045434
特開昭61-203136
透明導電膜形成方法、該方法により形成された透明導電膜および該透明導電膜を有する物品
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-145365 出願人：コニカミノルタホールディングス株式会社

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