特許
J-GLOBAL ID：200903036407094301

RF用マイクロリレー接点構造

発明者：
ストリーター,ロバート・ディー

ストリーター,ロバート・ディー について


出願人/特許権者：
レイセオン・カンパニー

レイセオン・カンパニー について


代理人 (6件)： 社本 一夫 ,  増井 忠弐 ,  小林 泰 ,  千葉 昭男 ,  富田 博行 ,  大塚 就彦
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-541700
公開番号（公開出願番号）：特表2004-513496
出願日： 2001年10月25日
公開日（公表日）： 2004年04月30日
要約：
MEMリレーデバイスは、セルフアライメント構造を有する可撓性多点接触システムを含む。本発明のリレーは、可撓性導電性信号歯部の第1セットに電気的に接続された第1信号接点と、可撓性導電性信号歯部の第2セットに電気的に接続された第2信号接点とを有する。アクチュエータが、開位置と閉位置の間で短絡接点を選択的に移動させる。閉位置では、可撓性導電性短絡歯部の2個のセットが、可撓性導電性信号歯部の第1セットおよび可撓性導電性信号歯部の第2セットとかみ合い、2つの信号接点間に導電性経路を形成する。接点構造は、ディープ反応性イオンエッチング(DRIE)プロセスを用いて製造を容易にし、信号およびアクチュエータ接点を各ダイのエッジにもたらす。
請求項（抜粋）：
ハウジングと、 前記ハウジングに配置された第1信号接点と、 前記ハウジングに配置された第2信号接点と、 前記ハウジングに配置され信号接触領域およびアクチュエータ領域ならびに前記信号接触領域と前記アクチュエータ領域とを接続する開口を形成する接地静電アクチュエータシールドと、 前記ハウジングに配置され開位置と閉位置の間で選択的に移動可能なアクチュエータと、 前記アクチュエータに配置され前記開口を通るアクチュエータ絶縁体と、 前記第1信号接点および前記第2信号接点と離間した関係で前記アクチュエータ絶縁体に配置された可動短絡接点と、 を備えたMEMリレー。
IPC (5件)：
H01H59/00 ,  H01H1/06 ,  H01H50/10 ,  H01H50/54 ,  H01H57/00
FI (5件)：
H01H59/00 ,  H01H1/06 J ,  H01H50/10 G ,  H01H50/54 S ,  H01H57/00 Z
Fターム (2件)：
5G051AA08 ,  5G051AA23
引用特許：
審査官引用 (10件)
  • マイクロリレー及びその製造方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-318823   出願人：シャープ株式会社
  • 静電リレー
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-059627   出願人：オムロン株式会社
  • 特公平3-078001
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