特許
J-GLOBAL ID：200903036412476743
レジスト除去用接着シ-ト類とレジスト除去方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
祢▲ぎ▼元 邦夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-125644
公開番号（公開出願番号）：特開平9-311468
出願日： 1996年05月21日
公開日（公表日）： 1997年12月02日
要約：
【要約】【課題】 物品上の不要となつたレジスト膜画像を接着シ-ト類を用いて剥離除去する一方、接着シ-ト類由来の有害金属が物品上に付着するのを抑制して、半導体ウエハなどの物品の電気特性などへの悪影響を防ぐことを目的とする。【解決手段】 フイルム基材とこの上に設けられた接着剤層(あるいはこれらとさらに接着剤層面に貼り合わされたセパレ-タ)とにより接着シ-ト類を構成し、これら構成部材の有する有害金属と結合可能なトラツプ剤を接着剤層中に含ませたレジスト除去用接着シ-ト類を使用し、これをレジスト膜画像が存在する物品上にセパレ-タが貼り合わされたものではこれを剥がして、貼り付け、この接着シ-ト類が硬化型であるときはこれを硬化させたのちに、この接着シ-ト類とレジスト材とを一体に剥離して、物品上のレジスト材を除去する。
請求項（抜粋）：
フイルム基材とこの上に設けられた接着剤層(あるいはこれらとさらに接着剤層面に貼り合わされたセパレ-タ)とにより接着シ-ト類を構成し、これら構成部材の有する有害金属と結合可能なトラツプ剤を接着剤層中に含ませたことを特徴とするレジスト除去用接着シ-ト類。
IPC (5件)：
G03F 7/42
, C09J 7/02 JKK
, C09J 7/02 JKQ
, C09J 7/02 JLE
, H01L 21/027
G03F 7/42
, C09J 7/02 JKK
, C09J 7/02 JKQ
, C09J 7/02 JLE
, H01L 21/30 572 Z
