特許
J-GLOBAL ID：200903036659549034

レーザー加工装置

発明者：
能丸 圭司

能丸 圭司 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (2件)： 小野 尚純 ,  奥貫 佐知子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-135159
公開番号（公開出願番号）：特開2007-000931
出願日： 2006年05月15日
公開日（公表日）： 2007年01月11日
要約：
【課題】 簡単な構成で被加工物に厚さ方向に2層の変質層を同時に形成することができるレーザー加工装置を提供する。【解決手段】チャックテーブルに3保持された被加工物2に該被加工物に対して透過性を有するレーザー光線を照射するレーザー光線照射手段4と、チャックテーブル3とレーザー光線照射手段4とを相対的に加工送りする加工送り手段とを具備し、レーザー光線照射手段4がレーザー光線発振手段5と、レーザー光線発振手段が発振するレーザー光線を伝送する光学伝送手段7と、該光学伝送手段によって伝送されたレーザー光線を集光せしめる集光レンズ8とを含んでいるレーザー加工装置であって、光学伝送手段7はレーザー光線発振手段5が発振するレーザー光線を常光と異常光に分離する複屈折レンズ72を備え、集光レンズ8は、複屈折レンズ72によって分離された常光と異常光をそれぞれ集光せしめ、常光の集光点と異常光の集光点とを形成する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物に該被加工物に対して透過性を有するレーザー光線を照射するレーザー光線照射手段と、該チャックテーブルと該レーザー光線照射手段とを相対的に加工送りする加工送り手段とを具備し、 該レーザー光線照射手段は、レーザー光線発振手段と、該レーザー光線発振手段が発振するレーザー光線を伝送する光学伝送手段と、該光学伝送手段によって伝送されたレーザー光線を集光せしめる集光レンズとを含んでいる、レーザー加工装置において、 該光学伝送手段は、該レーザー光線発振手段が発振するレーザー光線を常光と異常光に分離する複屈折レンズを備え、 該集光レンズは、該複屈折レンズによって分離された常光と異常光をそれぞれ集光せしめ、常光の集光点と異常光の集光点とを形成する、 ことを特徴とするレーザー加工装置。
IPC (2件)：
B23K 26/067 ,  B23K 26/06
FI (3件)：
B23K26/067 ,  B23K26/06 A ,  B23K26/06 Z
Fターム (8件)：
4E068CA03 ,  4E068CA11 ,  4E068CB08 ,  4E068CD04 ,  4E068CD08 ,  4E068CD13 ,  4E068CE04 ,  4E068DA10
引用特許：
出願人引用 (4件)
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