窒化アルミニウム焼結体及びそのメタライズ基板

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山本正緒
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-256221
公開番号（公開出願番号）：特開平11-278941
出願日： 1998年09月10日
公開日（公表日）： 1999年10月12日
要約：

【要約】【課題】焼結前の脱脂体にひび割れが発生せず、低温焼結が可能であって、色ムラがなく、強度や熱伝導率のばらつきを抑えたAlN焼結体、及びこれを用いた電子部品用のメタライズ基板を提供する。【解決手段】 AlN焼結体は、3元系助剤としてCa化合物、Yb化合物及びNd化合物を含有し、更に周期律表の第8族に属する元素の化合物、ケイ素又はケイ素化合物を含むことができる。このAlN焼結体の表面に、WやMoの高融点金属化層、Zn及びCuの各酸化物を含むAg金属化層、又はB、Pb、Cr及びCaの各酸化物を含むAg-Pd金属化層を形成し、更には絶縁性ガラス層を設けてメタライズ基板とする。

請求項（抜粋）：