誘導加熱装置

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：吉川勝郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-369277
公開番号（公開出願番号）：特開平11-195479
出願日： 1997年12月29日
公開日（公表日）： 1999年07月21日
要約：

【要約】【課題】誘導加熱された被加熱材からの輻射熱に対して水冷磁気シールド板を保護して水冷銅管の水漏れ事故の発生を防止し、耐久性に優れた誘導加熱装置を提供するものである。【解決手段】被加熱材5からの輻射熱を受ける側をステンレス板7で形成し、この裏面の加熱コイル4側に、銅板8に水冷銅管9を取付けた水冷磁気シールド板10を複合したことを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

被加熱材からの輻射熱を受ける側をステンレス板で形成し、この裏面の加熱コイル側に、銅板に水冷銅管を取付けた水冷磁気シールド板を複合したことを特徴とする誘導加熱装置。

IPC (2件)：

H05B 6/10 381 , B21B 45/00

FI (2件)：

H05B 6/10 381 , B21B 45/00 N

引用特許：

審査官引用 (10件)

誘導加熱装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-088166 出願人：三菱重工業株式会社
磁気シールド材
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-037380 出願人：株式会社アドバンテスト
ウエハ保持装置の給電構造
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-019193 出願人：京セラ株式会社

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