特許
J-GLOBAL ID：200903036723918189

金属酸化物薄膜形成用組成物、金属酸化物の製造方法および金属酸化物薄膜

発明者：
三輪 将史

三輪 将史 について

, 
白川 幸彦

白川 幸彦 について

, 
瀧澤 正利

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出願人/特許権者：
ティーディーケイ株式会社

ティーディーケイ株式会社 について


代理人 (1件)： 石井 陽一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-261553
公開番号（公開出願番号）：特開2003-160313
出願日： 2002年09月06日
公開日（公表日）： 2003年06月03日
要約：
【要約】【課題】 一度の成膜操作で高温における乾燥工程等の実用性の低い工程を経ずに十分な厚さを持つコーティング薄膜の製造を可能とする金属酸化物薄膜形成用組成物、および金属酸化物薄膜を提供する。【解決手段】 溶液中に金属アルコキシドもしくは金属アルコキシドと金属塩を含有し、この組成物中に融点30°C以上、かつ炭素数5〜12のアルカンジオールを含有する構成の金属酸化物薄膜形成用組成物、およびこの組成物を用いた金属酸化物の製造方法および金属酸化物薄膜とした。
請求項（抜粋）：
溶液中に金属アルコキシドもしくは金属アルコキシドと金属塩を含有し、この組成物中に融点30°C以上、かつ炭素数5〜12のアルカンジオールを含有する金属酸化物薄膜形成用組成物。
IPC (5件)：
C01B 13/14 ,  C01B 13/32 ,  C01G 23/00 ,  C01G 23/04 ,  C01G 25/02
FI (5件)：
C01B 13/14 Z ,  C01B 13/32 ,  C01G 23/00 C ,  C01G 23/04 C ,  C01G 25/02
Fターム (20件)：
4G042DA01 ,  4G042DB10 ,  4G042DC01 ,  4G042DD02 ,  4G042DE03 ,  4G042DE09 ,  4G042DE12 ,  4G042DE14 ,  4G047CA02 ,  4G047CB06 ,  4G047CB08 ,  4G047CC02 ,  4G047CD02 ,  4G048AA02 ,  4G048AB02 ,  4G048AB05 ,  4G048AC02 ,  4G048AD02 ,  4G048AE05 ,  4G048AE08
引用特許：
審査官引用 (6件)
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引用文献：
審査官引用 (1件)

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