X線検出素子及びX線検出装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木利之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-313768
公開番号（公開出願番号）：特開2006-125969
出願日： 2004年10月28日
公開日（公表日）： 2006年05月18日
要約：

【課題】 X線を検出する半導体素子を容器内に収容して,その容器の内部を大気から遮断することで,半導体素子が大気の湿度の影響を受けないようにする。【解決手段】容器10は台座14とキャップ16からなる。台座14の外周付近とキャップ16のフランジ18は密封接合されている。キャップ16には円形の開口22が形成されていて,この開口22を覆うようにベリリウム窓24が密封接合されている。APD12は基板26に搭載されていて,基板26は台座14の内面に接着されている。台座14には二つの貫通孔28が形成されていて,第1リード端子30と第2リード端子32がそれぞれ貫通孔28を通過している。その貫通部分はガラス・ハーメチックシール38で密封封止されている。容器10の内部は大気から遮断された密封空間であり,この密封空間は乾燥窒素ガスで満たされている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

次の構成を備えるX線検出素子。 (ア)200V以上のバイアス電圧が印加されてX線を検出する半導体素子。 (イ)前記半導体素子を収容する容器であって,その内部が大気から遮断された密封空間となっている容器。 (ウ)前記容器に形成されたX線透過窓であって,このX線透過窓を透過したX線が前記半導体素子に当たるような位置関係に配置されたX線透過窓。 (エ)前記半導体素子に電気的に接続されていて,一部が前記容器の外部に露出している第1端子及び第2端子。

IPC (3件)：

G01T 1/24 , G01T 7/00 , H01L 31/09

FI (3件)：

G01T1/24 , G01T7/00 A , H01L31/00 A

Fターム (13件)：

2G088FF02 , 2G088GG21 , 2G088JJ08 , 2G088JJ09 , 2G088JJ10 , 2G088JJ33 , 2G088JJ35 , 2G088LL11 , 5F088AA05 , 5F088BA11 , 5F088JA07 , 5F088JA18 , 5F088LA08

引用特許：

出願人引用 (1件)

高速蛍光X線検出システム
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-197205 出願人：東北大学長

審査官引用 (8件)

特開昭59-160345
高速蛍光X線検出システム
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-197205 出願人：東北大学長
放射線医学用間接X線画像検出器
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-180725 出願人：エフティーエヌアイインコーポレイテッド

全件表示

前のページに戻る