特許
J-GLOBAL ID：200903036870100116
セラミック基板のクラック検査方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
渡邉 一平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-114611
公開番号（公開出願番号）：特開平9-304324
出願日： 1996年05月09日
公開日（公表日）： 1997年11月28日
要約：
【要約】【課題】 クラックが表面に露出していない場合でも検出でき、クラックの見落としがなく、又、検査結果を数値化することにより客観的な判断が可能なセラミック基板のクラック検査方法を提供する。【解決手段】 セラミック基板の両面に導体を配置し、その導体の双方が導電性を有する液体であり、その液体又はその液体に導通する他の導体を電極として絶縁抵抗値又は絶縁抵抗値に依存する電気的特性値を測定する。
請求項（抜粋）：
セラミック基板の両面間の絶縁抵抗値又は当該絶縁抵抗値に依存する電気的特性値を測定することによりセラミック基板中のクラックを検出するセラミック基板のクラック検査方法であって、当該セラミック基板の両面に導体を配置し、当該導体の双方が導電性を有する液体であり、当該液体又は当該液体に導通する他の導体を電極として当該絶縁抵抗値又は当該絶縁抵抗値に依存する電気的特性値を測定することを特徴とするセラミック基板のクラック検査方法。
引用特許：
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