特許
J-GLOBAL ID:200903036880684736

圧電振動子とその実装方法、実装デバイス、それを用いた超音波プローブ、およびそれを用いた3次元超音波診断装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 稲岡 耕作 ,  川崎 実夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-011351
公開番号(公開出願番号):特開2004-088056
出願日: 2003年01月20日
公開日(公表日): 2004年03月18日
要約:
【課題】新規な圧電振動子とその実装方法、実装デバイス、それを用いた超音波プローブ、およびそれを用いた3次元超音波診断装置を提供する。【解決手段】圧電振動子PEは、板状に形成するか、または微小振動体10を複数個、2次元状に配列した圧電振動部材1の少なくとも片面に、異方導電特性を有する電極層2、もしくは多数の微細な電極22からなる電極アレイ2を形成した。実装方法および実装デバイスZDは、圧電振動子PEの、異方導電特性を有する電極層2を形成した側に、個々の微小振動体10に1対1で対応する複数のスイッチング素子32を配列した実装基板3を、位置合わせしながら圧着する。超音波プローブSPは、その先端に上記の実装デバイスZDを接続した。また3次元超音波診断装置5は、上記の超音波プローブSPを接続した。【選択図】 図3
請求項(抜粋):
圧電材料にて板状に形成するか、または圧電材料からなる微小振動体を複数個、2次元状に配列してなる圧電振動部材と、この圧電振動部材を両面から挟む一対の電極とを備えるとともに、当該一対の電極のうち少なくとも一方を、 (I) 導電成分としての金属粉末と、結着剤とを含み、厚み方向の導電抵抗が小さく、かつ面方向の導電抵抗が大きい異方導電特性を有する電極層、または (II) リソグラフィーによって形成した複数の微細電極からなる電極アレイ、 にて形成したことを特徴とする圧電振動子。
IPC (7件):
H01L41/22 ,  A61B8/00 ,  B06B1/06 ,  G01N29/24 ,  H01L41/08 ,  H01L41/09 ,  H04R17/00
FI (10件):
H01L41/22 Z ,  A61B8/00 ,  B06B1/06 Z ,  G01N29/24 502 ,  H04R17/00 330G ,  H04R17/00 330H ,  H04R17/00 332A ,  H01L41/08 U ,  H01L41/08 L ,  H01L41/08 H
Fターム (41件):
2G047AC13 ,  2G047DB02 ,  2G047DB14 ,  2G047EA10 ,  2G047EA15 ,  2G047GB02 ,  2G047GB17 ,  2G047GB21 ,  2G047GB29 ,  2G047GB32 ,  2G047GB34 ,  2G047GB35 ,  2G047GB36 ,  4C601EE09 ,  4C601EE13 ,  4C601GB06 ,  4C601GB07 ,  4C601GB19 ,  4C601GB21 ,  4C601GB22 ,  4C601GB26 ,  4C601GB41 ,  4C601GB43 ,  4C601GB44 ,  4C601GB45 ,  5D019AA25 ,  5D019AA26 ,  5D019BB19 ,  5D019BB28 ,  5D019EE06 ,  5D019FF04 ,  5D019HH01 ,  5D019HH02 ,  5D019HH03 ,  5D107AA12 ,  5D107AA13 ,  5D107BB07 ,  5D107CC02 ,  5D107CC05 ,  5D107CC10 ,  5D107CC11
引用特許:
審査官引用 (9件)
  • 特開昭62-013200
  • 2次元アレイ超音波プローブ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平5-189402   出願人:株式会社東芝
  • 異方性導電膜
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平3-166607   出願人:甲府カシオ株式会社, カシオ計算機株式会社
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