特許
J-GLOBAL ID:200903036880684736
圧電振動子とその実装方法、実装デバイス、それを用いた超音波プローブ、およびそれを用いた3次元超音波診断装置
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
稲岡 耕作
, 川崎 実夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-011351
公開番号(公開出願番号):特開2004-088056
出願日: 2003年01月20日
公開日(公表日): 2004年03月18日
要約:
【課題】新規な圧電振動子とその実装方法、実装デバイス、それを用いた超音波プローブ、およびそれを用いた3次元超音波診断装置を提供する。【解決手段】圧電振動子PEは、板状に形成するか、または微小振動体10を複数個、2次元状に配列した圧電振動部材1の少なくとも片面に、異方導電特性を有する電極層2、もしくは多数の微細な電極22からなる電極アレイ2を形成した。実装方法および実装デバイスZDは、圧電振動子PEの、異方導電特性を有する電極層2を形成した側に、個々の微小振動体10に1対1で対応する複数のスイッチング素子32を配列した実装基板3を、位置合わせしながら圧着する。超音波プローブSPは、その先端に上記の実装デバイスZDを接続した。また3次元超音波診断装置5は、上記の超音波プローブSPを接続した。【選択図】 図3
請求項(抜粋):
圧電材料にて板状に形成するか、または圧電材料からなる微小振動体を複数個、2次元状に配列してなる圧電振動部材と、この圧電振動部材を両面から挟む一対の電極とを備えるとともに、当該一対の電極のうち少なくとも一方を、
(I) 導電成分としての金属粉末と、結着剤とを含み、厚み方向の導電抵抗が小さく、かつ面方向の導電抵抗が大きい異方導電特性を有する電極層、または
(II) リソグラフィーによって形成した複数の微細電極からなる電極アレイ、
にて形成したことを特徴とする圧電振動子。
IPC (7件):
H01L41/22
, A61B8/00
, B06B1/06
, G01N29/24
, H01L41/08
, H01L41/09
, H04R17/00
FI (10件):
H01L41/22 Z
, A61B8/00
, B06B1/06 Z
, G01N29/24 502
, H04R17/00 330G
, H04R17/00 330H
, H04R17/00 332A
, H01L41/08 U
, H01L41/08 L
, H01L41/08 H
Fターム (41件):
2G047AC13
, 2G047DB02
, 2G047DB14
, 2G047EA10
, 2G047EA15
, 2G047GB02
, 2G047GB17
, 2G047GB21
, 2G047GB29
, 2G047GB32
, 2G047GB34
, 2G047GB35
, 2G047GB36
, 4C601EE09
, 4C601EE13
, 4C601GB06
, 4C601GB07
, 4C601GB19
, 4C601GB21
, 4C601GB22
, 4C601GB26
, 4C601GB41
, 4C601GB43
, 4C601GB44
, 4C601GB45
, 5D019AA25
, 5D019AA26
, 5D019BB19
, 5D019BB28
, 5D019EE06
, 5D019FF04
, 5D019HH01
, 5D019HH02
, 5D019HH03
, 5D107AA12
, 5D107AA13
, 5D107BB07
, 5D107CC02
, 5D107CC05
, 5D107CC10
, 5D107CC11
引用特許:
審査官引用 (9件)
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特開昭62-013200
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2次元アレイ超音波プローブ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-189402
出願人:株式会社東芝
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異方性導電膜
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-166607
出願人:甲府カシオ株式会社, カシオ計算機株式会社
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特開平3-141506
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特開昭63-160499
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音響変換器アレイのための支持体
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-045971
出願人:ヒューレット・パッカード・カンパニー
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超音波探触子およびその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-209927
出願人:株式会社日立製作所, 株式会社日立メディコ
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超音波診断装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-318150
出願人:株式会社東芝
-
音響変換器
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-124463
出願人:ヒューレット・パッカード・カンパニー
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