圧電振動子とその実装方法、実装デバイス、それを用いた超音波プローブ、およびそれを用いた3次元超音波診断装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：稲岡耕作 , 川崎実夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-011351
公開番号（公開出願番号）：特開2004-088056
出願日： 2003年01月20日
公開日（公表日）： 2004年03月18日
要約：

【課題】新規な圧電振動子とその実装方法、実装デバイス、それを用いた超音波プローブ、およびそれを用いた3次元超音波診断装置を提供する。【解決手段】圧電振動子PEは、板状に形成するか、または微小振動体10を複数個、2次元状に配列した圧電振動部材1の少なくとも片面に、異方導電特性を有する電極層2、もしくは多数の微細な電極22からなる電極アレイ2を形成した。実装方法および実装デバイスZDは、圧電振動子PEの、異方導電特性を有する電極層2を形成した側に、個々の微小振動体10に1対1で対応する複数のスイッチング素子32を配列した実装基板3を、位置合わせしながら圧着する。超音波プローブSPは、その先端に上記の実装デバイスZDを接続した。また3次元超音波診断装置5は、上記の超音波プローブSPを接続した。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

圧電材料にて板状に形成するか、または圧電材料からなる微小振動体を複数個、2次元状に配列してなる圧電振動部材と、この圧電振動部材を両面から挟む一対の電極とを備えるとともに、当該一対の電極のうち少なくとも一方を、 (I) 導電成分としての金属粉末と、結着剤とを含み、厚み方向の導電抵抗が小さく、かつ面方向の導電抵抗が大きい異方導電特性を有する電極層、または (II) リソグラフィーによって形成した複数の微細電極からなる電極アレイ、にて形成したことを特徴とする圧電振動子。

IPC (7件)：

H01L41/22 , A61B8/00 , B06B1/06 , G01N29/24 , H01L41/08 , H01L41/09 , H04R17/00

FI (10件)：

H01L41/22 Z , A61B8/00 , B06B1/06 Z , G01N29/24 502 , H04R17/00 330G , H04R17/00 330H , H04R17/00 332A , H01L41/08 U , H01L41/08 L , H01L41/08 H

Fターム (41件)：

2G047AC13 , 2G047DB02 , 2G047DB14 , 2G047EA10 , 2G047EA15 , 2G047GB02 , 2G047GB17 , 2G047GB21 , 2G047GB29 , 2G047GB32 , 2G047GB34 , 2G047GB35 , 2G047GB36 , 4C601EE09 , 4C601EE13 , 4C601GB06 , 4C601GB07 , 4C601GB19 , 4C601GB21 , 4C601GB22 , 4C601GB26 , 4C601GB41 , 4C601GB43 , 4C601GB44 , 4C601GB45 , 5D019AA25 , 5D019AA26 , 5D019BB19 , 5D019BB28 , 5D019EE06 , 5D019FF04 , 5D019HH01 , 5D019HH02 , 5D019HH03 , 5D107AA12 , 5D107AA13 , 5D107BB07 , 5D107CC02 , 5D107CC05 , 5D107CC10 , 5D107CC11

引用特許：

審査官引用 (9件)

特開昭62-013200
2次元アレイ超音波プローブ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-189402 出願人：株式会社東芝
異方性導電膜
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-166607 出願人：甲府カシオ株式会社, カシオ計算機株式会社

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