特許
J-GLOBAL ID：200903037005952324
薄板円板状ワークの両面研削装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岸本 瑛之助 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-087654
公開番号（公開出願番号）：特開2000-280155
出願日： 1999年03月30日
公開日（公表日）： 2000年10月10日
要約：
【要約】【課題】 ワークの厚みの減少に関わらず高い精度で研削を行える薄板円板状ワークの両面研削装置を提供する。【解決手段】 端面の研削面同士が対向し、かつ軸方向に相対的に移動しうるように配置されて回転させられる1対の砥石8,9と、ワークWの両面の加工面が1対の研削砥石の研削面にそれぞれ対向し、かつにワークWの外周が研削面の外周と交差しかつワークWの中心が研削面内に位置するようにワークWを研削面の間の研削加工位置に支持して自転させるワーク自転手段とを備えている研削装置である。自転手段は、研削砥石8,9の間から外に出ているワークWの部分の両加工面に流体を供給してワークを軸方向に非接触支持する静圧式軸方向支持手段10,11を備えている。静圧式軸方向支持手段10,11に、研削の進行に伴うワークの厚みの減少に対応して静圧を一定に保つ静圧制御手段13を設ける。
請求項（抜粋）：
端面の円形研削面同士が対向するとともに軸方向に相対的に移動しうるように配置されて回転させられる1対の研削砥石と、薄板円板状ワークの両面の加工面が前記1対の研削砥石の研削面にそれぞれ対向するとともに前記ワークの外周が前記研削面の外周と交差しかつ前記ワークの中心が前記研削面内に位置するように前記ワークを前記研削面の間の研削加工位置に支持して自転させるワーク自転手段とを備えており、前記ワーク自転手段が、前記研削砥石の間から外に出ているワークの部分の両面の加工面に流体を供給してその静圧により前記ワークを軸方向に非接触支持する静圧式軸方向支持手段と、前記ワークを径方向に支持して自転させる径方向支持駆動手段とを備えている薄板円板状ワークの両面研削装置において、静圧式軸方向支持手段が、研削の進行に伴うワークの厚みの減少に対応して静圧を一定に保つ静圧制御手段を備えていることを特徴とする薄板円板状ワークの両面研削装置。
Fターム (4件)：
3C043BC04
, 3C043CC04
, 3C043CC11
, 3C043DD05
