露光方法及び露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：荒船良男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-296281
公開番号（公開出願番号）：特開2008-112093
出願日： 2006年10月31日
公開日（公表日）： 2008年05月15日
要約：

【課題】パターンエッジを滑らかに露光することができる露光方法を提供すること。【解決手段】露光領域における各々の空間光変調素子に位置的に対応する画素を複数のサブ画素に2次元的に区分した上で所望露光パターンを設定し、各々の前記画素における露光を、当該画素に位置的に対応する前記空間光変調素子に担わせ、各々の前記空間光変調素子からの光像を、当該空間光変調素子に位置的に対応する前記画素に属する複数の前記サブ画素の各々に順次に走査して投影するとともに、その光像が投影される前記サブ画素における前記所望露光パターン上での明暗に対応させて各々の前記空間光変調素子のオン・オフの切り替えを行うようにし、サブ画素毎に必要な露光を行う。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

空間光変調素子を2次元的に多数配列してなる空間光変調器を使用し、光源から発せられた光を前記空間光変調器により変調して得られる明暗パターンを対象物に投影することによって当該対象物に露光パターンを形成する露光方法であって、露光領域における各々の前記空間光変調素子に位置的に対応する画素を複数のサブ画素に2次元的に区分した上で所望露光パターンを設定し、各々の前記画素における露光を、当該画素に位置的に対応する前記空間光変調素子に担わせ、各々の前記空間光変調素子からの光像を、当該空間光変調素子に位置的に対応する前記画素に属する複数の前記サブ画素の各々に順次に走査して投影するとともに、その光像が投影される前記サブ画素における前記所望露光パターン上での明暗に対応させて各々の前記空間光変調素子のオン・オフの切り替えを行うようにし、サブ画素毎に必要な露光を行うことを特徴とする露光方法。

IPC (2件)：

G03F 7/20 , H01L 21/027

FI (2件)：

G03F7/20 501 , H01L21/30 529

Fターム (9件)：

2H097AA03 , 2H097BA10 , 2H097BB01 , 2H097CA12 , 2H097CA17 , 2H097LA10 , 2H097LA12 , 5F046BA07 , 5F046CB01

引用特許：

出願人引用 (1件)

露光方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-321390 出願人：富士写真フイルム株式会社

審査官引用 (5件)

露光装置及びデバイス製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-311010 出願人：キヤノン株式会社
連続直接書込み光リソグラフィ
公報種別：公表公報出願番号：特願2004-529893 出願人：マスクレス・リソグラフィー・インコーポレーテッド
特許第6312134号

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