特許
J-GLOBAL ID：200903037138748967
圧電検出器及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-301501
公開番号（公開出願番号）：特開平11-132873
出願日： 1997年11月04日
公開日（公表日）： 1999年05月21日
要約：
【要約】【課題】 強誘電体を用いた圧電検出器は、誘電体の圧電効果を利用して力学量を検出するものであり、この圧電効果による発生電荷量は圧電体の分極方向に影響されため、素子構造と圧電体の分極軸配向性は、検出器の高感度化のために重要である。しかし、焼結体に高電界を印加して分極処理を行う場合、特に微小な圧電体エレメントや複数個の圧電体エレメントを分極する時は、均一に分極することは容易ではないといった課題があった。また、横効果構造の検出器において、圧電体を弾性板等に接着する製造方法では、接着方法が不完全であると、感度バラツキの原因となる課題があった。【解決手段】 凹型形状部を設けた検出器基板において、前記検出器基板に設けた凹型形状部上に、成膜基板、下部電極膜、圧電体薄膜、上部電極膜が設け、前記成膜基板にその端部が検出器基板に固定された片持ち梁、あるいは、両端を固定された両端固定梁を形成する。
請求項（抜粋）：
凹型形状部を設けた検出器基板において、前記凹型形状部上に、成膜基板、下部電極膜、圧電体薄膜、及び上部電極膜を設け、前記成膜基板はその端部が前記検出器基板に固定した片持ち梁、あるいは両端を固定した両端固定梁を有することを特徴とする圧電検出器。
IPC (4件)：
G01L 1/16
, G01P 15/09
, H01L 41/08
, H01L 41/22
G01L 1/16
, G01P 15/09
, H01L 41/08 Z
, H01L 41/22 Z
