特許

J-GLOBAL ID：200903024171257206

加速度センサ及びその製造方法

発明者： 大土 哲郎 ,  杉本 雅人 ,  小掠 哲義 ,  冨田 佳宏 ,  川崎 修
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 池内 寛幸 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-049367
公開番号（公開出願番号）：特開平9-243656
出願日： 1996年03月06日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：

【要約】【課題】 対衝撃性に優れ、大きな加速度に対しても測定可能で、広い周波数領域にわたって高感度を有し、しかも感度等の特性のばらつきの極めて小さい小型の加速度センサを提供する。【解決手段】 シム(Si基板)30の両面に、直接接合によって圧電基板(LiNbO3 )2a、2bを形成する。圧電基板2aと圧電基板2bは、分極軸の向きが逆方向となるように接合する。この圧電素子の一端を、支持体(LiNbO3 )4a、4bに挟持させる。この場合、圧電基板2a、2bは、それぞれ支持体4a、4bに直接接合する。圧電基板2a、2bの外側面の支持体4a、4bに挟持されていない部分に、電極3a、3bをそれぞれ形成する。この圧電振動子1を、上面と一側面が開口したLiNbO3 からなる容器10dに収納する。支持体4a、4bを容器10dの内側壁に直接接合する。容器10dに、LiNbO3 からなる容器10dと同じ形状の容器10cを接合する。

請求項（抜粋）：

シムに圧電体が直接接合されてなる圧電素子と、前記圧電素子の主面に形成された電極とからなる圧電振動子と、前記圧電振動子を支持する支持体とを備えた加速度センサ。

IPC (5件)：

G01P 15/09 ,  G01P 15/10 ,  H01L 29/84 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/22

FI (5件)：

G01P 15/09 ,  G01P 15/10 ,  H01L 29/84 Z ,  H01L 41/08 Z ,  H01L 41/22 Z

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 加速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-204576   出願人：株式会社村田製作所
• 複合圧電デバイス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-152157   出願人：松下電器産業株式会社
• 半導体容量式加速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-316790   出願人：株式会社日立製作所
• 加速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-239280   出願人：株式会社日立製作所
• 圧電素子を用いた力・加速度・磁気のセンサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-207118   出願人：岡田和廣