漏洩試験方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田渕経雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-274837
公開番号（公開出願番号）：特開2003-083837
出願日： 2001年09月11日
公開日（公表日）： 2003年03月19日
要約：

【要約】【課題】測定時間を従来法に比べて短縮できる漏洩試験方法の提供。【解決手段】 (1) 被試験体1をチャンバ3内に収容する工程と、被試験体1内を真空にし真空となるまでの時間を計測する工程と、前記真空となるまでの時間が所定時間を越える場合は被試験体1を洩れありのNG品とする工程と、被試験体1がNG品でない場合に、チャンバ3内を真空にする工程と、試験用ガスを被試験体1に封入する工程と、チャンバ3内の試験用ガスを検出する工程と、を有する漏洩試験方法。(2)チャンバ3内の試験用ガスを検出する工程において、所定時間内に所定値以上の試験用ガスが検出された場合はその被試験体1をNG品として漏洩試験を中止する。

請求項（抜粋）：

被試験体をチャンバ内に収容する工程と、前記被試験体内を真空にし真空となるまでの時間を計測する工程と、前記真空となるまでの時間が所定時間を越える場合は前記被試験体を洩れありのNG品とする工程と、前記被試験体がNG品でない場合に、前記チャンバ内を真空にする工程と、試験用ガスを前記被試験体に封入する工程と、前記チャンバ内の試験用ガスを検出する工程と、を有する漏洩試験方法。

IPC (2件)：

G01M 3/26 , G01M 3/20

FI (2件)：

G01M 3/26 N , G01M 3/20 Z

Fターム (5件)：

2G067AA44 , 2G067BB04 , 2G067CC11 , 2G067DD02 , 2G067EE05

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭49-049686
リークテスト装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-045550 出願人：株式会社島津製作所
特開昭56-143940

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