反射型液晶ディスプレイにおける反射電極の形成方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：梶良之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-357592
公開番号（公開出願番号）：特開2003-156757
出願日： 2001年11月22日
公開日（公表日）： 2003年05月30日
要約：

【要約】【課題】反射型液晶ディスプレイにおける反射電極であって合金元素としてAuを含有するAg合金薄膜からなる反射電極を、エッチングを含む工程により反射電極パターンに形成するに際し、残さフリーでエッチングすることができ、エッチング後の残さの量を低減することができる反射型液晶ディスプレイにおける反射電極の形成方法を提供する。【解決手段】上記Ag合金薄膜(反射電極)をエッチングするに際し、H3PO4:40〜80質量部,CH3COOH:0〜40質量部,HNO3:0.5〜10質量部,H2O:10〜80質量部の組成のエッチャントによりエッチングをした後、H3PO4:30〜60質量部,HNO3:2〜10質量部,HCl:10〜50質量部,H2O:5〜30質量部の組成のエッチャントによりエッチングすることを特徴とする反射電極の形成方法。

請求項（抜粋）：

反射型液晶ディスプレイにおける反射電極であって合金元素としてAuを含有するAg合金薄膜からなる反射電極をエッチングを含む工程により反射電極パターンに形成する反射電極の形成方法において、前記エッチングをするに際し、H3PO4:40〜80質量部,CH3COOH:0〜40質量部,HNO3:0.5〜10質量部,H2O:10〜80質量部の組成のエッチャントによりエッチングをした後、H3PO4:30〜60質量部,HNO3:2〜10質量部,HCl:10〜50質量部,H2O:5〜30質量部の組成のエッチャントによりエッチングすることを特徴とする反射型液晶ディスプレイにおける反射電極の形成方法。

IPC (4件)：

G02F 1/1343 , G02B 5/08 , G02F 1/1335 520 , G09F 9/00 338

FI (4件)：

G02F 1/1343 , G02B 5/08 C , G02F 1/1335 520 , G09F 9/00 338

Fターム (22件)：

2H042DA04 , 2H042DA05 , 2H042DA12 , 2H042DA22 , 2H042DC02 , 2H042DC06 , 2H042DE00 , 2H091FA14Z , 2H091FB08 , 2H091LA12 , 2H092HA05 , 2H092MA05 , 2H092MA13 , 2H092MA17 , 2H092NA25 , 2H092PA01 , 5G435AA14 , 5G435AA17 , 5G435BB12 , 5G435BB16 , 5G435HH12 , 5G435KK05

引用特許：

審査官引用 (6件)

スパッタリングターゲット
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-140336 出願人：凸版印刷株式会社, 住友金属鉱山株式会社
液晶装置、その製造方法および電子機器
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-103494 出願人：セイコーエプソン株式会社
金及び金合金の化学研磨処理液
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-295980 出願人：日本表面化学株式会社

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