特許
J-GLOBAL ID：200903037269916717

結晶方位を有するウエーハの研磨方法

発明者：
青木 昌史

青木 昌史 について

, 
若原 匡俊

若原 匡俊 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (2件)： 小野 尚純 ,  奥貫 佐知子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-273022
公開番号（公開出願番号）：特開2005-033111
出願日： 2003年07月10日
公開日（公表日）： 2005年02月03日
要約：
【課題】 結晶方位に対して割れが発生し易い方向にソーマークが形成されないように研磨する結晶方位を有するウエーハの研磨方法を提供する。【解決手段】 結晶方位を有するウエーハをチャックテーブル上に保持し、該チャックテーブル上に保持されたウエーハの上面に回転する研磨砥石の端面を作用せしめてウエーハの上面を研磨する結晶方位を有するウエーハの研磨方法であって、チャックテーブル上に該ウエーハを結晶方位を示すマークを所定方向に位置付けて載置するウエーハ位置付け工程と、研磨砥石を回転させて研磨作用位置に位置付ける研磨砥石位置付け工程と、ウエーハを保持したチャックテーブルを研磨作用位置に位置付けられた研磨砥石に向けて相対的に平行移動し、研磨砥石をウエーハの外周から所定方向に作用せしめる研磨工程とを含む。【選択図】 図6
請求項（抜粋）：
結晶方位を有するウエーハをチャックテーブル上に保持し、該チャックテーブル上に保持された該ウエーハの上面に回転する研磨砥石の端面を作用せしめて該ウエーハの上面を研磨する結晶方位を有するウエーハの研磨方法であって、 該チャックテーブル上に該ウエーハを結晶方位を示すマークを所定方向に位置付けて載置するウエーハ位置付け工程と、 該研磨砥石を回転させて研磨作用位置に位置付ける研磨砥石位置付け工程と、 該ウエーハを保持した該チャックテーブルを研磨作用位置に位置付けられた該研磨砥石に向けて相対的に平行移動し、研磨砥石を該ウエーハの外周から所定方向に作用せしめる研磨工程と、を含む、 ことを特徴とする結晶方位を有するウエーハの研磨方法。
IPC (3件)：
H01L21/304 ,  B24B1/00 ,  B24B7/22
FI (3件)：
H01L21/304 631 ,  B24B1/00 A ,  B24B7/22 A
Fターム (7件)：
3C043BB00 ,  3C043CC04 ,  3C049AA04 ,  3C049AA16 ,  3C049AB01 ,  3C049CA01 ,  3C049CB01
引用特許：
審査官引用 (3件)

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