特許
J-GLOBAL ID:200903037368093897
異方性導電シートの製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
上代 哲司
, 神野 直美
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-037049
公開番号(公開出願番号):特開2004-247216
出願日: 2003年02月14日
公開日(公表日): 2004年09月02日
要約:
【課題】電気絶縁性高分子膜に貫通孔を形成し、貫通孔内を導電性物質で付着もしくは充填した異方性導電シートの製造方法において、従来のフォトレジストを用いた方法より、製造工程が少ない異方性導電シートの製造方法を提供する。【解決手段】電気絶縁性高分子膜の両面に、フッ素樹脂膜からなるマスク材を積層する工程、積層により得られた積層膜に貫通孔を形成する工程、該貫通孔に導電性物質を付着もしくは充填する工程、および該マスク材を該積層膜から除去する工程、を有することを特徴とする異方性導電シートの製造方法。【選択図】 図6
請求項(抜粋):
電気絶縁性高分子膜の両面に、フッ素樹脂膜からなるマスク材を積層する工程、積層により得られた積層膜に貫通孔を形成する工程、該貫通孔に導電性物質を付着もしくは充填する工程、および該マスク材を該積層膜から除去する工程、を有することを特徴とする異方性導電シートの製造方法。
IPC (3件):
H01R43/00
, H01B13/00
, H01R11/01
FI (4件):
H01R43/00 H
, H01B13/00 501P
, H01R11/01 501G
, H01R11/01 501H
Fターム (3件):
5E051CA01
, 5E051CA02
, 5E051CA04
引用特許:
審査官引用 (11件)
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異方性導電膜およびその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-088876
出願人:ザウィタカーコーポレーション
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特開平2-060006
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はんだバンプの形成方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-115908
出願人:千住金属工業株式会社, 東京電子工業株式会社
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