光ファイバ型表面プラズモン湿度センサ、表面プラズモン湿度センサ、光ファイバ型湿度センサ及び湿度測定装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：佐藤隆久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-189800
公開番号（公開出願番号）：特開2009-025199
出願日： 2007年07月20日
公開日（公表日）： 2009年02月05日
要約：

【課題】湿度に対してより感度を向上させることができる表面プラズモン湿度センサ、表面プラズモン湿度センサ及び光ファイバ型湿度センサと、湿度測定装置を提供する。【解決手段】光ファイバ(20a,20b)の中途部に、伝送する光の一部の外界との相互作用させる光透過部材及びその外周表面における光透過部材中の光の反射により表面プラズモンを発生する金属膜を有するセンサ部SPが設けられ、その外周表面に、外周表面における光透過部材中の光の反射により表面プラズモンを発生する金属膜50が設けられ、金属膜50の外周表面に、雰囲気中の湿度に応じて屈折率が変化する膜60が設けられ、さらに、光源が設けられて光ファイバの入射端に対してセンサ光を出射し、受光部が設けられて光透過部材を介して光ファイバの出射端から出射されるセンサ光を検出する構成となっている。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

光ファイバと、前記光ファイバの中途部に設けられ、伝送する光の一部の外界との相互作用させる光透過部材と、前記光透過部材の外周表面に設けられ、前記外周表面における前記光透過部材中の光の反射により表面プラズモンを発生する金属膜と、前記金属膜の外周表面に設けられ、雰囲気中の湿度に応じて屈折率が変化する膜とを有する光ファイバ型表面プラズモン湿度センサ。

IPC (3件)：

G01N 21/27 , G01D 5/353 , G01W 1/11

FI (3件)：

G01N21/27 C , G01D5/26 D , G01W1/11 D

Fターム (11件)：

2F103CA06 , 2F103EC08 , 2F103EC09 , 2G059AA02 , 2G059AA10 , 2G059EE02 , 2G059EE12 , 2G059GG01 , 2G059GG02 , 2G059JJ17 , 2G059KK01

引用特許：

出願人引用 (4件)

国際公開97/48994号パンフレット
光ファイバ型センサおよび光ファイバ型センサシステム
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-013249 出願人：タマティーエルオー株式会社, 株式会社インターアクション
屈折率センサー、センサーシステムおよび光ファイバ
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-159618 出願人：タマティーエルオー株式会社

全件表示

審査官引用 (4件)

光ファイバセンサおよびそれを用いた測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-356225 出願人：タマティーエルオー株式会社
特開昭63-269051
表面プラズモン共鳴センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-100718 出願人：東陶機器株式会社

全件表示

引用文献：

審査官引用 (2件)

前のページに戻る