太陽電池の欠陥検査装置及びその方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：熊倉禎男 , 大塚文昭 , 西島孝喜 , 須田洋之 , 平野誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-198091
公開番号（公開出願番号）：特開2008-026113
出願日： 2006年07月20日
公開日（公表日）： 2008年02月07日
要約：

【課題】太陽電池のクラック等の欠陥の検査を一定の判定レベルで簡単に行うことができる検査装置と方法を提供する。【解決手段】太陽電池を検査する装置(1)は、複数の太陽電池(10a)を有する太陽電池パネル(10)を載置する試料台(25)と、太陽電池に電流を印加する電源(30)と、太陽電池の画像を撮像するCCDカメラ(35)と、CCDカメラによる撮像を制御し、CCDカメラにより撮像した画像を処理する制御演算装置(50)と、CCDカメラを移動するためのカメラ駆動装置とを備える。カメラ駆動装置によりCCDカメラを移動して、太陽電池パネルの各々の太陽電池の画像を撮像する。制御演算装置は、太陽電池の2つの画像から差分画像を作成し、差分画像を所定のしきい値で2値化し、差分2値化画像を作成する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

太陽電池を検査する装置であって、前記太陽電池を載置する試料台と、前記太陽電池に電流を印加する電源と、前記太陽電池の画像を撮像するCCDカメラと、前記CCDカメラによる撮像を制御し、前記CCDカメラにより撮像した画像を処理する制御演算装置と、を備えることを特徴とする太陽電池検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/66 , G01N 21/88 , H01L 31/04

FI (3件)：

G01N21/66 , G01N21/88 Z , H01L31/04 K

Fターム (23件)：

2G043AA03 , 2G043CA05 , 2G043DA06 , 2G043EA06 , 2G043GA07 , 2G043GB10 , 2G043HA01 , 2G043LA03 , 2G043LA05 , 2G043NA01 , 2G043NA05 , 2G043NA06 , 2G051AA90 , 2G051AB02 , 2G051AC11 , 2G051AC21 , 2G051CA04 , 2G051EA08 , 2G051EA11 , 2G051EB09 , 2G051ED11 , 5F051BA14 , 5F051KA09

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開平3-218045号
光起電力素子の特性検査装置及び製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-000358 出願人：キヤノン株式会社
特開平4-339247

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審査官引用 (2件)

特開平4-339247
透明電極膜基板の検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-172511 出願人：三菱重工業株式会社

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