特許
J-GLOBAL ID：200903037555583792

補助電極を有する不溶性陽極

発明者：
コヴァースキー, ニコレイ, ワイ.

コヴァースキー, ニコレイ, ワイ. について

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ルボミルスキー, ドゥミトリー

ルボミルスキー, ドゥミトリー について

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ラビノヴィッチ, イェヴジェニー(ユージーン)

ラビノヴィッチ, イェヴジェニー(ユージーン) について


出願人/特許権者：
アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド

アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド について


代理人 (2件)： 長谷川 芳樹 ,  山田 行一
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-527045
公開番号（公開出願番号）：特表2007-505996
出願日： 2004年09月17日
公開日（公表日）： 2007年03月15日
要約：
基板に金属をメッキする方法及び装置。本装置は、メッキ液を含有するように構成された液体ベースンと、液体ベースンの下の部分に配置された陽極液体容積と、液体ベースンの上の部分に配置された陰極液体容積と、陽極液体容積を陰極液体容積から分けるために配置されたイオン膜と、陽極液体容積の中央に配置されたメッキ電極と、陽極液体容積においてメッキ電極に隣接して配置された非メッキ電極とを含んでいる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
電気化学メッキセルであって、 メッキ液を含有するように構成された液体ベースンと、 該液体ベースンの下の部分に配置された陽極液体容積と、 該液体ベースンの上の部分に配置された陰極液体容積と、 該陽極液体容積を該陰極液体容積から分けるために配置されたイオン膜と、 該陽極液体容積の中央に配置されたメッキ電極と、 該陽極液体容積の該メッキ電極から放射状に外向きに配置された非メッキ電極と、 を備えている前記メッキセル。
IPC (4件)：
C25D 21/00 ,  C25D 17/00 ,  C25D 7/12 ,  C25D 17/10
FI (4件)：
C25D21/00 J ,  C25D17/00 H ,  C25D7/12 ,  C25D17/10 101A
Fターム (12件)：
4K024AA09 ,  4K024BA11 ,  4K024BB12 ,  4K024CA01 ,  4K024CA02 ,  4K024CA03 ,  4K024CA06 ,  4K024CB01 ,  4K024CB07 ,  4K024CB11 ,  4K024CB18 ,  4K024CB26
引用特許：
審査官引用 (6件)
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