摺動部材

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡邉勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-376015
公開番号（公開出願番号）：特開2001-152320
出願日： 1999年11月26日
公開日（公表日）： 2001年06月05日
要約：

【要約】【課題】窒化チタン膜の優れた耐摩耗性および低摩擦係数を更に向上させて、回転機械の高速化、高圧化に伴う高い摺動特性に対する要請に対応することができるような摺動部材を提供する。【解決手段】基板Sと、前記基板の表面に形成された硬質膜とを備え、前記硬質膜は、窒化チタンを主成分とし、Alを添加する窒化物であって、前記硬質膜は、真空アーク放電を利用してターゲット14を蒸発させた元素をイオン化し、イオンの経路にイオンをガイドする磁場を形成することにより前記基板に導くアークイオンプレーティング法によって形成されている。

請求項（抜粋）：

基板と、前記基板の表面に形成された硬質膜とを備え、前記硬質膜は、Ti及びAlを含有する窒化物であって、前記硬質膜は、真空アーク放電を利用してターゲットである蒸着源を蒸気化、イオン化し、イオンの経路にイオンをガイドする磁場を形成することにより前記基板に導くアークイオンプレーティング法によって形成されていることを特徴とする摺動部材。

IPC (3件)：

C23C 14/06 , B23P 9/00 , C23C 14/32

FI (3件)：

C23C 14/06 A , B23P 9/00 , C23C 14/32 Z

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平4-346654
ピストンリング
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-326599 出願人：日本ピストンリング株式会社
特開平2-232364

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