特許
J-GLOBAL ID:200903037654069537
角速度センサ装置
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
伊藤 洋二 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-345134
公開番号(公開出願番号):特開2000-329562
出願日: 1999年12月03日
公開日(公表日): 2000年11月30日
要約:
【要約】【課題】 振動型の角速度センサ装置において、角速度出力値の0点や出力感度のドリフトを抑制し、且つ、装置の小型化、低コスト化を達成する。【解決手段】 センサエレメント100は、角速度軸zに対してa0方向に駆動用電極4、5により駆動振動する駆動用振動子1と、駆動用振動子1と梁13によって連結された2個の検出用振動子11、12と、検出用振動子11、12に加わるコリオリ力を検出する検出用電極14、15とを備え、コリオリ力が加わったときに各々の検出用振動子11、12に発生する検出振動の方向a1、a2がコリオリ力の作用する方向Kから角度θずれている。そして、各検出用電極14、15からの出力信号に基づき、慣性力に起因する信号を基準にコリオリ力に起因する信号から角速度を算出するようにしている。
請求項(抜粋):
水平面内で駆動振動を行う可動部(1、38、41、51)を有し、この可動部を駆動振動させて前記水平面と垂直な角速度軸回りに角速度が発生したときに、前記可動部に対して前記水平面と平行な方向にコリオリ力を作用させるようにしたセンサエレメント(100、300、330、350、400、450、500、550、600)と、このセンサエレメントからの出力信号に基づき、前記コリオリ力に起因しない信号を基準に前記コリオリ力に起因する信号から角速度を算出する回路手段(200)と、を有することを特徴とする角速度センサ装置。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (17件):
2F105AA02
, 2F105AA08
, 2F105BB01
, 2F105BB08
, 2F105BB09
, 2F105BB13
, 2F105BB15
, 2F105CC04
, 2F105CC11
, 2F105CD01
, 2F105CD02
, 2F105CD03
, 2F105CD05
, 2F105CD06
, 2F105CD07
, 2F105CD11
, 2F105CD13
引用特許:
出願人引用 (5件)
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特開平3-041312
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回転角速度センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-306238
出願人:ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
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角速度センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-304820
出願人:日産自動車株式会社
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振動型角速度センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-334336
出願人:株式会社豊田中央研究所
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回転角速度センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-207355
出願人:ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
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審査官引用 (5件)
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特開平3-041312
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回転角速度センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-306238
出願人:ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
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角速度センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-304820
出願人:日産自動車株式会社
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振動型角速度センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-334336
出願人:株式会社豊田中央研究所
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回転角速度センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-207355
出願人:ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
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