特許
J-GLOBAL ID：200903037662697253

金属酸化物ゾル液の製造方法、結晶質金属複酸化物ゾルおよび金属酸化物膜

発明者：
阿部 真治

阿部 真治 について


出願人/特許権者：
日本曹達株式会社

日本曹達株式会社 について


代理人 (1件)： 大石 治仁
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-362945
公開番号（公開出願番号）：特開2005-126274
出願日： 2003年10月23日
公開日（公表日）： 2005年05月19日
要約：
【課題】 ひび割れ等のない緻密で均質な金属酸化物膜を形成できる金属酸化物ゾル液の製造方法、該金属酸化物ゾル液から形成される金属酸化物膜、及び結晶質金属複酸化物ゾルを提供することを目的とする。【解決手段】 1種以上の金属アルコキシドを溶解した有機溶媒溶液に、金属アルコキシドに対して3〜10倍モルの水を添加して、金属アルコキシドを加水分解する工程を有する金属酸化物ゾル液の製造方法であって、金属アルコキシドを加水分解して得られる反応液における金属酸化物ゾルの濃度が、金属酸化物に換算して5重量%以下になるように、前記有機溶媒溶液中における金属アルコキシドの濃度を設定することを特徴とする金属酸化物ゾル液の製造方法、この金属酸化物ゾル液を用いて形成される金属酸化物膜及び結晶質金属複酸化物ゾル。【選択図】 なし。
請求項（抜粋）：
1種以上の金属アルコキシドを溶解した有機溶媒溶液に、金属アルコキシドに対して3〜10倍モルの水を添加して、金属アルコキシドを加水分解する工程を有する金属酸化物ゾル液の製造方法であって、金属アルコキシドを加水分解して得られる反応液における金属酸化物ゾルの濃度が、金属酸化物に換算して5重量%以下になるように、前記有機溶媒溶液中における金属アルコキシドの濃度を設定することを特徴とする金属酸化物ゾル液の製造方法。
IPC (6件)：
C01B13/32 ,  C01G23/00 ,  H01L27/105 ,  H01L41/18 ,  H01L41/187 ,  H01L41/24
FI (8件)：
C01B13/32 ,  C01G23/00 C ,  H01L27/10 444C ,  H01L41/22 A ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/18 101C ,  H01L41/18 101D
Fターム (18件)：
4G042DA01 ,  4G042DB11 ,  4G042DD02 ,  4G042DD13 ,  4G042DE09 ,  4G042DE14 ,  4G047CA07 ,  4G047CB06 ,  4G047CC03 ,  4G047CD02 ,  4G047CD08 ,  5F083FR00 ,  5F083JA13 ,  5F083JA14 ,  5F083JA15 ,  5F083JA17 ,  5F083PR23 ,  5F083PR33
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (7件)
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