特許
J-GLOBAL ID：200903037707230726

熱分光測定装置

発明者：
納谷 昌之

納谷 昌之 について


出願人/特許権者：
富士写真フイルム株式会社

富士写真フイルム株式会社 について


代理人 (1件)： 柳田 征史 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-298707
公開番号（公開出願番号）：特開平11-133041
出願日： 1997年10月30日
公開日（公表日）： 1999年05月21日
要約：
【要約】【課題】 光の回折限界以下の分解能で熱分光測定を行う。【解決手段】 可視光波長より小さい径の微小開口を有するプローブ3をその先端7aが試料表面に近接するように配置し、微小開口から試料の微小部分に向けて励起光Le を照射する。一方プローブ光Lp によりプローブ先端7a からエバネッセント光が出射され、励起光Le を試料Sの微小部分に照射している場合と照射ていしない場合のそれぞれについて、エバネッセント光が試料Sの微小部分と相互作用して生じる散乱光Ls1,Ls2を光検出手段6により検出する。
請求項（抜粋）：
先端部に可視光波長よりも小さい径の微小開口を有し、先端を試料に近接させて配置されるプローブと、前記試料に吸収される波長を有する励起光を前記プローブに入力させて前記微小開口から前記試料の微小部分に照射せしめる励起光用光学手段と、前記試料に吸収されない波長を有するプローブ光を前記プローブに入力させて前記プローブの先端からエバネッセント光を出射させるプローブ光用光学手段と、前記エバネッセント光と、前記励起光が照射されている前記試料の微小部分とが相互作用することにより生じる第一の散乱光を検出する光検出手段とを備えたことを特徴とする熱分光測定装置。
IPC (2件)：
G01N 37/00 ,  G01B 11/30
FI (2件)：
G01N 37/00 D ,  G01B 11/30 Z
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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