特許
J-GLOBAL ID：200903037718388712
磁気センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
志賀 正武
, 渡邊 隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-199281
公開番号（公開出願番号）：特開2005-039011
出願日： 2003年07月18日
公開日（公表日）： 2005年02月10日
要約：
【課題】耐環境性に優れる磁気センサを提供する。【解決手段】基板11上にスピンバルブ型の磁気抵抗効果素子12が配され、磁気抵抗効果素子12の両端部には永久磁石膜からなるバイアス磁石層14がそれぞれ接続されるとともに、磁気抵抗効果素子12の両端部がバイアス磁石層14の一部を覆うように配され、磁気抵抗効果素子12およびバイアス磁石層14の上面14aを全て被覆するように第一保護膜15および第二保護膜16が設けられた磁気センサ10において、磁気抵抗効果素子12および第一保護膜15と、バイアス磁石層14との間に、バイアス磁石層14の上面14aの全域を覆うように中間層18を設ける。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板上にスピンバルブ型の磁気抵抗効果素子が配され、該磁気抵抗効果素子の両端部には永久磁石膜からなるバイアス磁石層がそれぞれ接続されており、該磁気抵抗効果素子および該バイアス磁石層の上面を被覆するように保護膜が設けられた磁気センサにおいて、
少なくとも該保護膜と、該バイアス磁石層との間に、中間層が設けられていることを特徴とする磁気センサ。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L43/08 Z
, H01L43/08 B
, H01L43/12
