スキャン・回収兼用ノズル

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：山本秀樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-335922
公開番号（公開出願番号）：特開2004-170222
出願日： 2002年11月20日
公開日（公表日）： 2004年06月17日
要約：

【課題】スキャーンができ、かつスキャン後の液滴を安定かつほぼ完全に回収できるようする。【解決手段】上下方向に延びた吸引通路21と、下周囲を縁取っている凹部23と、前記凹部23の内底面略中心に突設された凸部24と、前記凸部の先端面に設けられて前記吸引通路21へ連通した開口24aとを有しており、ノズル保持・移動機構1により支持されて、検査対象であるウエハ表面に滴下された液量300μl以下の液滴Sを捉え、該ウエハ表面をスキャンすることで当該液滴にウエハ表面の汚染物質等を取り込むと共に、当該液滴Sを前記開口24aより吸引して汚染度分析試料用として回収可能にするスキャン・回収兼用ノズル2である。凸部24は、凹部23の内底面側より先端面に向かって細くなった略円錐台形として形成され、かつ、該円錐台形の傾斜面が凸部の先端面より前記凹部の内底面に向かう角度θで60〜15°に形成されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

上下方向に延びた吸引通路と、下周囲を縁取っている凹部と、前記凹部の内底面略中心に突設された凸部と、前記凸部の先端面に設けられて前記吸引通路へ連通した開口とを有しており、ノズル保持・移動機構により支持されて、検査対象であるウエハ表面に滴下された液量300μl以下の液滴を捉え、該ウエハ表面をスキャンすることで当該液滴にウエハ表面の汚染物質等を取り込むと共に、当該液滴を前記開口より吸引して汚染度分析試料用として回収可能にするスキャン・回収兼用ノズルにおいて、前記凸部は、前記凹部の内底面側より先端面に向かって細くなった略円錐台形として形成され、かつ、該円錐台形の傾斜面が凸部の先端面より前記凹部の内底面に向かう角度で60〜15°になっていることを特徴とするスキャン・回収兼用ノズル。

IPC (4件)：

G01N1/28 , G01N1/00 , G01N1/32 , H01L21/66

FI (4件)：

G01N1/28 X , G01N1/00 101K , G01N1/32 B , H01L21/66 Q

Fターム (24件)：

2G052AA13 , 2G052AB26 , 2G052AB27 , 2G052AD12 , 2G052AD46 , 2G052AD52 , 2G052BA19 , 2G052BA21 , 2G052CA02 , 2G052CA03 , 2G052CA18 , 2G052CA23 , 2G052EC12 , 2G052EC14 , 2G052FD10 , 2G052GA19 , 2G052GA24 , 2G052JA04 , 2G052JA09 , 2G052JA16 , 4M106AA01 , 4M106BA12 , 4M106DH04 , 4M106DH25

引用特許：

審査官引用 (4件)

分析前処理器具及び該器具を用いた前処理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-088144 出願人：株式会社ピュアレックス, 有限会社ユーエムエス
ピペットチップ及びそれを用いた物質抽出方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-110077 出願人：株式会社ユニフレックス
マイクロメカニカルピペット装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-070523 出願人：エフ・ホフマン-ラロシユアーゲー

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