特許
J-GLOBAL ID：200903037739404947
露光装置及び露光方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
大塚 康徳
, 高柳 司郎
, 大塚 康弘
, 木村 秀二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-291809
公開番号（公開出願番号）：特開2006-093721
出願日： 2005年10月04日
公開日（公表日）： 2006年04月06日
要約：
【課題】液浸法を適用した露光装置において、投影光学系の最終面を液浸状態に維持し、または当該液浸状態を生成するための新規かつ有用な技術を提供する。【解決手段】露光装置は、基板と投影光学系の最終面との間隙に液体を満たした状態で原版を介して基板9を露光する。露光装置は、基板を保持し移動する基板ステージ10と、該基板ステージ10に保持された基板9と実質的に等しい高さの面を有し移動する平面板21と、供給ノズル5を有し、該最終面に対向して配された、該平面板21および該基板ステージ10に保持された基板9の少なくとも一方と該最終面との間隙に、該供給ノズル5を介して液体を供給する供給手段と、回収ノズル6を有し、該回収ノズル6を介して該間隙に満たされた液体を回収する回収手段とを備える。【選択図】図9
請求項（抜粋）：
原版のパターンを基板に投影する投影光学系を有し、前記基板と前記投影光学系の最終面との間隙に液体を満たした状態で前記原版を介して前記基板を露光する露光装置であって、
前記基板を保持し移動する基板ステージと、
前記基板ステージに保持された前記基板と実質的に等しい高さの面を有し、移動する平面板と、
供給ノズルを有し、前記最終面に対向して配された、前記平面板および前記基板ステージに保持された前記基板の少なくとも一方と前記最終面との間隙に、前記供給ノズルを介して前記液体を供給する供給手段と、
回収ノズルを有し、前記回収ノズルを介して前記間隙に満たされた前記液体を回収する回収手段と
を備え、
前記基板ステージに保持された前記基板が前記最終面に対向して配されず、かつ前記平面板が前記最終面に対向して配された状態で、前記平面板と前記最終面との間隙に前記液体を供給し、かつ当該間隙から前記液体を回収する
ことを特徴とする露光装置。
IPC (1件)：
FI (2件)：
H01L21/30 515D
, H01L21/30 515G
5F046BA04
, 5F046BA05
, 5F046CA04
, 5F046CB25
, 5F046CB26
, 5F046CC01
, 5F046CC08
, 5F046CD01
, 5F046DA07
