特許
J-GLOBAL ID：200903037822451116

酸化亜鉛膜のパターニング方法

発明者：
保苅 一志

保苅 一志 について


出願人/特許権者：
カシオ計算機株式会社

カシオ計算機株式会社 について


代理人 (1件)： 花輪 義男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-260378
公開番号（公開出願番号）：特開2006-080172
出願日： 2004年09月08日
公開日（公表日）： 2006年03月23日
要約：
【課題】 酸化亜鉛(ZnO)のエッチング液の濃度管理を比較的容易とする。【解決手段】 酸化亜鉛膜のエッチング液として、リン酸水溶液にイソプロピルアルコール(IPA)を添加したものを用いる。そして、図2の二点鎖線(イソプロピルアルコール添加率0%、つまりエッチング液としてリン酸水溶液のみを用いる)では、エッチング速度を好ましい100nm/min程度とするには、リン酸濃度を0.056%程度としなければならないが、リン酸の濃度管理として小数点以下2桁以上の精度を要求されるため、実際には極めて困難である。これに対し、図2の実線(イソプロピルアルコール添加率50%)では、リン酸濃度が0.056%程度であると、エッチング速度は30nm/min程度であり、リン酸濃度が0.187%程度であると、エッチング速度は100nm/min程度であるので、この範囲をリン酸濃度誤差許容範囲とすることができる。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
基板上に酸化亜鉛膜を成膜する工程と、前記酸化亜鉛膜上にレジスト膜をパターン形成する工程と、前記レジスト膜をマスクとして、酸水溶液にアルコールもしくはアルコール誘導体を添加してなるエッチング液を用いて前記酸化亜鉛膜をパターニングする工程とを有することを特徴とする酸化亜鉛膜のパターニング方法。
IPC (3件)：
H01L 21/308 ,  H01L 21/336 ,  H01L 29/786
FI (3件)：
H01L21/308 B ,  H01L29/78 627C ,  H01L29/78 618B
Fターム (12件)：
5F043AA18 ,  5F043BB12 ,  5F043GG10 ,  5F110AA30 ,  5F110DD01 ,  5F110DD02 ,  5F110DD05 ,  5F110GG01 ,  5F110GG42 ,  5F110GG43 ,  5F110GG44 ,  5F110QQ05
引用特許：
出願人引用 (4件)
全件表示
審査官引用 (3件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM