特許
J-GLOBAL ID：200903096309611945
薄膜太陽電池およびその製造方法ならびにエッチング液
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
原 謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-039169
公開番号（公開出願番号）：特開2003-243677
出願日： 2002年02月15日
公開日（公表日）： 2003年08月29日
要約：
【要約】【課題】 透明導電層に対して、安価かつ容易な製造方法により、透明導電層の表面に所望の穴および凹凸を形成することで、十分な光閉込効果を得て、高い光電変換効率を有する薄膜太陽電池およびその製造方法ならびにエッチング液を提供する。【解決手段】 透明導電層11bを、アルコール誘導体を含有した酸あるいはアルカリ性のエッチング液によってエッチング処理を行い、透明導電層11bの表面に複数の穴と微細な凹凸を形成する。
請求項（抜粋）：
基板、透明導電層、光電変換層を少なくとも備えた薄膜太陽電池において、上記透明導電層の表面を、下記の構造式(1)で示されるアルコール誘導体を少なくとも1種類含むエッチング液を用いてエッチングすることを特徴とする薄膜太陽電池の製造方法。A-(OH)n ・・・・・(1)(nは1〜4の整数、Aは炭素原子を介して水酸基と結合した脂肪族炭化水素残基である。)
IPC (3件)：
H01L 31/04
, H01L 21/306
, H01L 21/308
H01L 21/308 A
, H01L 31/04 M
, H01L 21/306 F
5F043AA21
, 5F043BB30
, 5F043FF10
, 5F043GG10
, 5F051AA02
, 5F051AA05
, 5F051BA14
, 5F051BA16
, 5F051CA15
, 5F051DA04
, 5F051FA02
, 5F051FA13
, 5F051FA15
, 5F051FA19
, 5F051GA02
, 5F051GA03
