試料温度制御方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木利之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-246858
公開番号（公開出願番号）：特開平10-073546
出願日： 1996年08月30日
公開日（公表日）： 1998年03月17日
要約：

【要約】【課題】液体窒素からの低温ガスによる冷却と試料加熱ヒータによる加熱とを併用して所定の降温速度で試料を冷却する場合に、液体窒素加熱ヒータに供給する電力を、実測した試料温度と実測した降温速度とに応じて随時変更することにより、液体窒素加熱ヒータの電力を必要かつ十分なものとする。【解決手段】試料を一定の降温速度で冷却する場合に、実測した試料温度と実測した降温速度とに応じて、80W、180Wなどの、複数の離散的な電力値の中から必要な電力を選択する。あるいは、実測した降温速度が得られるように、補間演算によって理想的な電力を求めて、この理想電力曲線44に基づいて、液体窒素加熱ヒータ電力を変更する。さらに、試料加熱ヒータによるフィードバック制御を常に有効に機能させるためには、理想電力曲線44よりも10%程度大きな補正電力曲線46を用いることも好ましい。

請求項（抜粋）：

液化冷媒を冷媒加熱ヒータで加熱気化させて低温ガスを発生させ、この低温ガスで試料を冷却するとともに、試料加熱ヒータを用いて試料温度をフィードバック制御する試料温度制御方法において、次の(イ)〜(ハ)の予備段階を経てから、(ニ)と(ホ)の制御段階を実施することを特徴とする試料温度制御方法。(イ)前記試料加熱ヒータで試料を加熱することなく、前記冷媒加熱ヒータに一定の電力を供給して前記低温ガスで試料を冷却し、そのときの経過時間と試料温度との関係を示す曲線(以下、定電力冷却曲線という。)を測定する段階。(ロ)前記一定の電力の値を変更して、複数の前記定電力冷却曲線を得る段階。(ハ)複数の前記定電力冷却曲線において、電力と試料温度とその温度変化速度との対応関係を求める段階。(ニ)実測した試料温度と実測した温度変化速度とをもとにして、上記対応関係に基づいて、必要な冷媒加熱ヒータ電力を時々刻々求め、この必要電力を冷媒加熱ヒータに供給する段階。(ホ)前記冷媒加熱ヒータに前記必要電力が供給されている状態で、試料温度が所定の温度プログラムに従うように前記試料加熱ヒータに電力を供給して試料温度をフィードバック制御する段階。

IPC (2件)：

G01N 25/00 , F25D 3/10

FI (2件)：

G01N 25/00 M , F25D 3/10 C

引用特許：

出願人引用 (8件)

特公平7-122619
特開平4-301552
試料温度制御方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-020632 出願人：理学電機株式会社

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