特許
J-GLOBAL ID：200903010206408058

感放射線性樹脂組成物

発明者：
後藤 幸平

後藤 幸平 について

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松原 稔

松原 稔 について

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井上 靖健

井上 靖健 について

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秋池 利之

秋池 利之 について


出願人/特許権者：
日本合成ゴム株式会社

日本合成ゴム株式会社 について


代理人 (1件)： 岩見谷 周志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-184047
公開番号（公開出願番号）：特開平10-010734
出願日： 1996年06月25日
公開日（公表日）： 1998年01月16日
要約：
【要約】【課題】 低誘電率で、平坦度などの物性に優れた硬化膜が得られる新規な感放射線性樹脂組成物の提供。【解決手段】 (A) (a-1)不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物と、(a-2)前記以外のラジカル重合性化合物をモノマー単位として含む共重合体、(B) 一般式(1) :-CH2OR1 (1)〔式中、R1は水素原子またはアルキル基である〕で示される一価有機基を分子内に有する架橋剤、および(C) 感放射線性酸発生剤を含有する組成物であって、得られる硬化膜の比誘電率が3.0以下であることを特徴とする、感放射線性樹脂組成物。
請求項（抜粋）：
(A) (a-1) 不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物と、(a-2)前記以外のラジカル重合性化合物をモノマー単位として含む共重合体、(B) 一般式(1) :-CH2OR1 (1)〔式中、R1は水素原子またはアルキル基である〕で示される一価有機基を分子内に有する架橋剤、および(C) 感放射線性酸発生剤を含有する組成物であって、該組成物を硬化して得られる硬化膜の比誘電率が3以下であることを特徴とする、感放射線性樹脂組成物。
IPC (7件)：
G03F 7/038 505 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/033 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/312 ,  H01L 21/768 ,  H05K 3/46
FI (7件)：
G03F 7/038 505 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/033 ,  H01L 21/312 D ,  H05K 3/46 T ,  H01L 21/30 502 R ,  H01L 21/90 S
引用特許：
審査官引用 (5件)
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