可動構造部を有する微小構造体及びその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：飯塚雄二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-072821
公開番号（公開出願番号）：特開2004-223713
出願日： 2004年03月15日
公開日（公表日）： 2004年08月12日
要約：

【課題】厚みの増加を最小限に抑えることが可能であり、実質的に微小構造体の特性への影響が無く、簡易且つ低コストで製造可能な微小構造体を提供すること。【解決手段】可動構造部を3次元方向に移動可能に収容した基体を備え;可動構造部は、基体に収容された時に、少なくとも1面が外部に露出した状態であり;所定の間隙を介して可動構造部の露出した面を覆うように形成され、当該可動部の過剰な動きを防止する網目状の薄膜を設けている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

可動構造部を有する微小構造体において、前記可動構造部を3次元方向に移動可能に収容した基体を備え; 前記可動構造部は、前記基体に収容された時に、少なくとも1面が外部に露出した状態であり; 所定の間隙を介して前記可動構造部の露出した面を覆うように形成され、当該可動部の過剰な動きを防止する網目状の薄膜を設けたことを特徴とする微小構造体。

IPC (4件)：

B81B3/00 , B81C1/00 , G01P15/12 , H01L29/84

FI (4件)：

B81B3/00 , B81C1/00 , G01P15/12 D , H01L29/84 A

Fターム (14件)：

4M112AA02 , 4M112BA01 , 4M112CA21 , 4M112CA24 , 4M112CA27 , 4M112CA31 , 4M112DA03 , 4M112DA16 , 4M112DA18 , 4M112EA02 , 4M112EA06 , 4M112EA07 , 4M112EA11 , 4M112FA07

引用特許：

審査官引用 (10件)

半導体多次元加速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-105471 出願人：株式会社フジクラ
力学量センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-232926 出願人：日産自動車株式会社
力学量センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-334748 出願人：株式会社村田製作所

全件表示

前のページに戻る