特許
J-GLOBAL ID：200903038173331595

ITO焼結体の製造法

発明者：
松永 修

松永 修 について

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長崎 裕一

長崎 裕一 について

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高畑 努

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出願人/特許権者：
東ソー株式会社

東ソー株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-341845
公開番号（公開出願番号）：特開平10-182228
出願日： 1996年12月20日
公開日（公表日）： 1998年07月07日
要約：
【要約】【課題】 スパッタリング中のノジュール発生がなく、異物発生が抑制された、焼結密度が7.08g/cm3の超高密度ITO(酸化インジウム-酸化スズ)焼結体を提供する。【解決手段】 少なくとも酸化スズ粉末を気流中で相互に衝突させるか、または衝突体に衝突させて粉砕した後、酸化スズ粉末と酸化インジウム粉末とを混合、成形、焼結してITO焼結体を製造する。粉砕後の酸化スズ粉末は、その90wt%以上が0.2μm〜10μmの粒径を持つことが好ましく、このような粉砕にはジェットミルを用いることができる。
請求項（抜粋）：
実質的に酸化インジウム、酸化スズとからなる粉末を混合、成形、焼結してITO焼結体を製造する方法において、酸化スズ粉末を、気流中で相互に衝突させるか、または衝突体に衝突させて粉砕した後、酸化インジウム粉末と混合することを特徴とするITO焼結体の製造法。
IPC (3件)：
C04B 35/495 ,  C23C 14/08 ,  C23C 14/34
FI (3件)：
C04B 35/00 J ,  C23C 14/08 D ,  C23C 14/34 A
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (2件)

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